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功率半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試設(shè)備+分析儀器
SiC|IGBT功率器件測(cè)試儀and參數(shù)分析儀
產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 加工定制 | 否 |
---|---|---|---|
集電極-發(fā)射極 最大電壓 | 3500V | 集電極-發(fā)射極 最大電流 | 6000A |
漏電流測(cè)試范圍 | 1nA~100mA |
IGBT功率半導(dǎo)體器件測(cè)試難點(diǎn)
IGBT是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件,兼有高輸入阻抗和低導(dǎo)通壓降兩方面的優(yōu)點(diǎn);同時(shí)IGBT芯片屬于電力電子芯片,需要工作在大電流、高電壓、高頻率的環(huán)境下,對(duì)芯片的可靠性要求較高。這給IGBT測(cè)試帶來(lái)了一定的困難:
1、IGBT是多端口器件,需要多種儀表協(xié)同測(cè)試;2、IGBT的漏電流越小越好,需要高精度的設(shè)備進(jìn)行測(cè)試;
3、IGBT的電流輸出能力很強(qiáng),測(cè)試時(shí)需要快速注入1000安級(jí)電流,并完成壓降的采樣;
4、lGBT耐壓較高,一般從幾千到一萬(wàn)伏不等,需要測(cè)量?jī)x器具備高壓輸出和高壓下納安級(jí)漏電流測(cè)試的能力;
5、由于IGBT工作在強(qiáng)電流下,自加熱效應(yīng)明顯,嚴(yán)重時(shí)容易造成器件燒毀,需要提供us級(jí)電流脈沖信號(hào)減少器件自加熱效應(yīng);
6、輸入輸出電容對(duì)器件的開關(guān)性能影響很大,不同電壓下器件等效結(jié)電容不同,C-V測(cè)試十分有必要。
高電壓and大電流igbt模塊測(cè)試設(shè)備解決方案
普賽斯IGBT功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),集多種測(cè)量和分析功能一體,可以精準(zhǔn)測(cè)量IGBT功率半導(dǎo)體器件的靜態(tài)參數(shù),具有高電壓和大電流特性、uQ級(jí)精確測(cè)量、納安級(jí)電流測(cè)量能力等特點(diǎn)。支持高壓模式下測(cè)量功率器件結(jié)電容,如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。
圖5:IGBT測(cè)試系統(tǒng)圖
普賽斯IGBT功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)配置由多種測(cè)量單元模塊組成,系統(tǒng)模塊化的設(shè)計(jì)能夠極大方便用戶添加或升級(jí)測(cè)量模塊,適應(yīng)測(cè)量功率器件不斷變化的需求。
“雙高"系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)
高電壓、大電流
具有高電壓測(cè)量/輸出能力,電壓高達(dá)3500V(最大可擴(kuò)展至10kV)
具有大電流測(cè)量/輸出能力,電流高達(dá)6000A(多模塊并聯(lián))
高精度測(cè)量
納安級(jí)漏電流, μΩ級(jí)導(dǎo)通電阻
0.1%精度測(cè)量
模塊化配置
可根據(jù)實(shí)際測(cè)試需要靈活配置多種測(cè)量單元系統(tǒng)預(yù)留升級(jí)空間,后期可添加或升級(jí)測(cè)量單元
測(cè)試效率高
內(nèi)置專用開關(guān)矩陣,根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目自動(dòng)切換電路與測(cè)量單元
支持國(guó)標(biāo)全指標(biāo)的一鍵測(cè)試
擴(kuò)展性好
支持常溫及高溫測(cè)試可靈活定制各種夾具
高電壓and大電流igbt模塊測(cè)試設(shè)備測(cè)試項(xiàng)目
集電極-發(fā)射極電壓Vces,集電極-發(fā)射極擊穿電壓V(br)ces、集電極-發(fā)射極飽和電壓Vcesat
集電極截止電流Ices、柵極漏電流Iges
柵極-發(fā)射極電壓Vges、柵極-發(fā)射極閾值電壓Vge(th)
輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容
續(xù)流二極管壓降Vf
I-V特性曲線掃描,C-V特性曲線掃描等
技術(shù)參數(shù)
測(cè)試夾具
針對(duì)市面上不同封裝類型的硅基功率半導(dǎo)體,IGBT、SiC、MOS、GaN等產(chǎn)品,普賽斯提供
整套測(cè)試夾具解決方案,可用于T0單管,半橋模組等產(chǎn)品的測(cè)試。
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