單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理

壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。

當(dāng)壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號。

● 精度高

● 量程、零點外部連續(xù)可調(diào)

● 穩(wěn)定性能好

● 正遷移可達500%、負遷移可達600%

● 二線制

● 阻尼可調(diào)、耐過壓

● 固體傳感器設(shè)計

● 無機械可動部件、維修量少

● 重量輕(2.4kg)

● 全系列統(tǒng)一結(jié)構(gòu)、互換性強

● 小型化(166mm總高)

● 接觸介質(zhì)的膜片材料可選

● 單邊抗過壓強

● 低壓澆鑄鋁合金殼體