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你對擴散硅壓力變送器的常識了解了多少?

閱讀:927      發(fā)布時間:2021-5-14
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  壓力變送器按芯體可分為擴散硅壓力變送器、陶瓷壓力變送器、電容式壓力變送器和單晶硅壓力變送器。那大家知道平時測壓力用到多的壓力變送器是什么類型的嗎?
  那就是擴散硅壓力變送器。擴散硅壓力變送器廣泛應用于石油、化工、鋼鐵、電力、輕工、環(huán)保等工業(yè)領(lǐng)域,實現(xiàn)對各種流體壓力的表壓、負壓或絕壓測量和控制,并且能夠適用于各種惡劣危險環(huán)境及有腐蝕性介質(zhì)。那么擴散硅壓力變送器是怎樣誕生的呢?
  20世紀90年代中期,美國Nova公司應用硅品石和硅品片益合兩項科技生產(chǎn)了新型擴散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高、重復性小、抗腐蝕的擴散硅壓力變送器過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U散硅膜片上,同時參考端的壓力(大氣壓)作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個壓力場,使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸,在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個應變電阻片,以感受壓力引起的阻值的變化,從而將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號。
  擴散硅壓力變送器是利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,組成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢驗于一體的擴散硅傳感器。
  應用擴散硅壓力變送器時的注意事項
  1.溫度補償,擴散硅式壓力傳感器是半導體,半導體具有很強的溫度特性,沒有溫度補償,測量誤差可能會比較大。
  2.擴散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚,千萬不能觸碰。
  3.供電電壓要穩(wěn)定,傳感器里面實際就是一個電橋,供電電壓波動會引起橋路輸出變化,影響測量精度。
  4.要在額定電壓內(nèi)應用,過壓會導致傳感器損壞。
  5.輸出端不要短路。

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