擴(kuò)散硅壓力變送器是怎么誕生的
壓力變送器按芯體可分為擴(kuò)散硅壓力變送器、陶瓷壓力變送器、電容式壓力變送器和單晶硅壓力變送器。那大家知道平時測壓力用到很多的壓力變送器是什么類型的嗎?
那就是擴(kuò)散硅壓力變送器。擴(kuò)散硅壓力變送器廣泛應(yīng)用于石油、化工、鋼鐵、電力、輕工、環(huán)保等工業(yè)領(lǐng)域,實現(xiàn)對各種流體壓力的表壓、負(fù)壓或絕壓測量和控制,并且能夠適用于各種惡劣危險環(huán)境及有腐蝕性介質(zhì)。那么擴(kuò)散硅壓力變送器是怎樣誕生的呢?
擴(kuò)散硅壓力變送器的誕生
20世紀(jì)90年代中期,美國Nova公司應(yīng)用硅品石和硅品片益合兩項科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高、重復(fù)性小、抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上,同時參考端的壓力(大氣壓)作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個壓力場,使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸,在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個應(yīng)變電阻片,以感受壓力引起的阻值的變化,從而將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號。