什么是單晶硅壓力變送器
單晶硅壓力變送器其工作原理為外界壓差傳遞到內(nèi)部的單晶硅全動態(tài)的壓阻效應(yīng),壓力的作用下產(chǎn)生一個跟隨壓力變化的電壓信號輸出,將這個電壓信號通過電子電路收集、放大和軟件補(bǔ)償處理后,就得到壓力信號的線性輸出。
單晶硅壓力變送器的輸出靈敏性高、信號量大、回差極小,并且電路設(shè)計(jì)較為簡潔可靠,所以較多變送器制造廠商優(yōu)先采用此方案進(jìn)行變送器的研發(fā)和制造。但是較之金屬電容式傳感器和單晶硅諧振式傳感器,單晶硅壓力變送器的應(yīng)用具有較為特殊的工藝要求。
主要表現(xiàn)在硅芯片的無應(yīng)力封裝技術(shù)和硅薄膜的單向過載保護(hù)技術(shù)方面。單晶硅壓力變送器主要的優(yōu)勢體現(xiàn)在溫度和靜壓補(bǔ)償環(huán)節(jié)中,即:雙諧振回路的原始差動信號輸出,而此差動信號不被溫度和靜壓的影響,因此對于后期的變送器的溫度補(bǔ)償和靜壓補(bǔ)償?shù)裙ば颦h(huán)節(jié)操作較為簡便。
單晶硅壓力變送器的性能特點(diǎn):
1、高純度單晶硅材質(zhì),有效提高產(chǎn)品壽命及長期穩(wěn)定性;
2、電阻溫度特性互補(bǔ),提高芯片抗*力;
3、LCD帶背光顯示數(shù)字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~模擬指示;
4、通過按鍵組合操作能實(shí)現(xiàn)調(diào)零和調(diào)滿功能,以及數(shù)據(jù)恢復(fù)功能,方便了現(xiàn)場調(diào)試;
5、信號轉(zhuǎn)換、信號采集與處理及電流輸出控制采用了一體化集成電路(ASICS)使智能變送器具有高穩(wěn)定、高可靠、高抗震等特點(diǎn),并且,單晶硅壓力變送器具有良好的互換性。