常用擴散硅壓力變送器知識
壓力傳感器是壓力變送器中將壓強轉(zhuǎn)換成電壓信號的關(guān)鍵器件。擴散硅式壓力變送器的敏感元件是擴散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測量介質(zhì)與硅片隔離開。其特點是輸出靈敏度較高,價格實惠。
擴散硅壓力變送器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制平臺,它是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應(yīng)變電阻,組成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢驗于一體的擴散硅傳感器。
應(yīng)用擴散硅壓力變送器時的注意事項
1.溫度補償,擴散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體,半導(dǎo)體具有很強的溫度特性,沒有溫度補償,測量誤差可能會比較大。
2.擴散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚,千萬不能觸碰。
3.供電電壓要穩(wěn)定,傳感器里面實際就是一個電橋,供電電壓波動會引起橋路輸出變化,影響測量精度。
4.要在額定電壓內(nèi)應(yīng)用,過壓會導(dǎo)致傳感器損壞。
5.輸出端不要短路。