芯片光刻機上用的除塵設(shè)備

上海今鈞機電工程有限公司

我們上海今鈞機電是一家集機、電、軟件于一體的技術(shù)型企業(yè)，我們公司致力于自動化表面清潔技術(shù)、靜電消除技術(shù)，解決生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的灰塵顆粒木屑雜物等，是一家能夠擁有銷售、設(shè)計以及生產(chǎn)管理的綜合技術(shù)服務(wù)型企業(yè)。公司在 申有多項技術(shù)產(chǎn)權(quán)。

公司有行業(yè)經(jīng)驗豐富的技術(shù)人才團隊，可以為國內(nèi)各行企業(yè)提供行業(yè)設(shè)備及系統(tǒng)服務(wù)工程。

詳情介紹

芯片光刻機是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。制造高精度的對準系統(tǒng)需要具有近乎完美的精密機械工藝。

的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種，分辨率通常5納米至幾微米之間。光刻機堪稱現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花，其制造難度之大，*只有少數(shù)幾家公司能夠制造。這也是國產(chǎn)光刻機*的技術(shù)難點之一。

影響光刻機精度的原因有很多，比如間隙零件精度都有很大關(guān)系，其中容易被忽略的一個原因還有光刻機表面清潔原因，光刻機上有切割掉的碎屑或灰塵都會影響芯片切割的精度,所以光刻機上面需要增加除塵設(shè)備來保證切割的精度！

芯片光刻機上用的除塵設(shè)備介紹

此設(shè)備是上海今鈞設(shè)計研發(fā)的一款可以安裝在光刻機上的除塵設(shè)備，我公司與國內(nèi)多家半導(dǎo)體公司有合作經(jīng)驗，成功在多種規(guī)格的光刻機上得到應(yīng)用，受到客戶*。我公司常用兩種除塵設(shè)備應(yīng)用于光刻機上下面簡單介紹一下。

種：毛刷清潔靜電消除吸塵設(shè)備，此設(shè)備的工作原理為靜電棒消除靜電減少靜電吸附力，毛刷清潔刷除灰塵和顆粒，再經(jīng)過高負壓工業(yè)吸塵機把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

第二種：強吹靜電除塵設(shè)備：此設(shè)備工作原理為先靜電消除再通過高速旋轉(zhuǎn)噴頭把灰塵顆粒吹除并揚起，再使用高負壓工業(yè)吸塵機把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

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