Setra西特217超高純壓力變送器

Setra西特217超高純壓力變送器
 

217G025PGE11106J

217G050PGE11106J

217G250PGE11106J

217G500PGE11106J

217G1000PGE11106J

217G2000PGE11106J

217G3000PGE11106J

217G0R7BGE11106J

217G3R4BGE11106J

217G017BGE11106J

217G007BGE11106J

217G035BGE11106J

217G138BGE11106J

Setra 217 型壓力變送器專為模塊式 “Block” 氣體棒和面板設(shè)計(jì)，非常適合惡劣環(huán)境（例如冷氣流導(dǎo)致的溫度瞬變下的壓力測(cè)量應(yīng)用于·模塊式“Block”氣體棒和面板·高純度氣體輸送系統(tǒng)半導(dǎo)體過程工具。

特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·出色的穩(wěn)定性，避免停機(jī)
·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾 / 射頻干擾，可防止誤停機(jī)
·易于吹掃
·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·模塊式“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力
端口，帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采
用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞
大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。
每個(gè)傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的
氦滲漏試驗(yàn)。
217 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種
輸出類型，并提供多種標(biāo)準(zhǔn)電氣接口。頂部外側(cè)帶有零點(diǎn)
和量程調(diào)整裝置，進(jìn)一步體現(xiàn)了*設(shè)計(jì)，適合所有朝下
安裝的 UHP（超高純）壓力測(cè)量應(yīng)用。 217 型同時(shí)也是
一款獲磚利的可變電容傳感器，采用 316L 不銹鋼隔膜和
絕緣電極板，可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。
當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感
器將檢測(cè)到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過
Setra *的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流
電信號(hào)。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳
感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)
定的電壓或電流輸出信號(hào)。