壓力傳感器發(fā)展趨勢(shì)

         工業(yè)設(shè)備在制造過(guò)程及整機(jī)機(jī)能體驗(yàn)中離不開(kāi)各類機(jī)器量和幾何量，有些工業(yè)設(shè)備在運(yùn)行中還要常常對(duì)多種物量進(jìn)行檢測(cè)或監(jiān)督，包含位移、速度、加快度、力、力矩、功率、壓力、流量、溫度、硬度、密度、濕度、比重、黏度、長(zhǎng)度、角度、外形、位置、外表粗拙度、外表波形等，這些均屬于物理量。實(shí)際出產(chǎn)、生活和科學(xué)嘗試中還會(huì)碰見(jiàn)化學(xué)量、生物量（包含醫(yī)學(xué)），而所有這一切，從消息工程的角度來(lái)看，都需求經(jīng)過(guò)傳感器，將其轉(zhuǎn)換成電消息（近代還可以轉(zhuǎn)換成光消息），爾后再進(jìn)行消息的傳輸、處理、存儲(chǔ)、展示、節(jié)制，從消息的角度看，這些消息連同聲音和圖像消息都是消息的起源，所以傳感器和檢測(cè)儀表、測(cè)量?jī)x表是消息科學(xué)技能的3部分（消息獲取、消息傳輸、消息處理）中的重要部分。那么本文主要介紹壓力傳感器發(fā)展。

　　壓力傳感器是一種把非電量改變成電消息的器件，而檢測(cè)儀表在模擬電子技能前提下，一般是包含傳感器、檢測(cè)點(diǎn)取樣設(shè)備及放大器（進(jìn)行抗干擾處理及消息傳輸），誠(chéng)然還有電源及現(xiàn)場(chǎng)展示部分（可選擇），電消息一般為持續(xù)量、離散量?jī)煞N，實(shí)際上還可分成模擬量、開(kāi)關(guān)量、脈沖量等，模擬消息傳輸采用同一消息（4-20madc等）。數(shù)據(jù)化過(guò)程中，檢測(cè)儀表改變比較大，經(jīng)過(guò)幾個(gè)階段，近來(lái)多采用asic集成電路，并且把傳感器和微處理器及網(wǎng)絡(luò)接口封裝在一個(gè)器件中，完成消息獲取、處理、傳輸、存貯等功能。在主動(dòng)化儀表中常常把檢測(cè)儀表稱為變送器，如問(wèn)題變送器、壓力變送器等。

　　壓力傳感器發(fā)展新型半導(dǎo)體材料碳化硅（sic）的出現(xiàn)使得單晶體的高溫傳感器的制作成為可能。rober.s. okojie報(bào)導(dǎo)了一種運(yùn)行試驗(yàn)達(dá)500℃的α（6h） sic壓力傳感器.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在輸入電壓為5v ,被測(cè)壓力為6.9mpa的條件下,23500℃時(shí)的滿量程輸出為44. 66～20. 03mv ,滿量程線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17%。在500℃條件下運(yùn)行10h ,性能基本不變,在100℃和500℃兩點(diǎn)的應(yīng)變溫度系數(shù)（tcgf） ,分別為20. 19 %/℃和- 0. 11 %/℃。這種傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)是pn結(jié)泄漏電流很小,沒(méi)有熱匹配問(wèn)題以及升溫不產(chǎn)生塑性變型,可以批量加工。ziermann ,rene報(bào)導(dǎo)了使用單晶體n型β- sic材料制成的壓力傳感器,這種壓力傳感器工作溫度可達(dá)573k,耐輻射。在室溫下,此壓力傳感器的靈敏度為20. 2muv/ vkpa。