ICP光譜儀是當(dāng)前光譜分析中迅速靈敏的一種儀器。光譜儀是上述各種儀器的總稱。雖然各種光譜儀的形式各異，但均有三大主要部分：一是激光光譜的光源；二是光譜儀系統(tǒng)，使不同波長的光聚焦在儀器上的特定位置。三是用置于焦點(diǎn)上的探測器來量光的強(qiáng)度。近代的光譜儀大都采用微型計算機(jī)處理實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
將復(fù)色光分解為光譜，并進(jìn)行記錄的精密光學(xué)儀器。在可見光和紫外光區(qū)域，過去常用照相法記錄光譜，故也稱攝譜儀。在紅外區(qū)域，一般用光敏或熱敏元件逐點(diǎn)記錄，故有紅外分光計的名稱。現(xiàn)在在各個波段均采用光電接收和記錄的方法，比較直接、靈敏，稱為“光電記錄光譜儀”。為了得到更多的光譜線，可以把被分析物質(zhì)放在等離子體火焰中激發(fā)，在光譜儀中除采用光電接收方法外，還配有計算機(jī)，計算物質(zhì)中各元素含量?？梢栽跀?shù)秒種內(nèi)從顯示器的熒光屏讀出結(jié)果。這種儀器稱為“等離子體光電直讀光譜儀”簡稱ICP光譜儀。
ICP光譜法是上世紀(jì)60年代提出、70年代迅速發(fā)展起來的一種分析方法，它的迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用是與其克服了經(jīng)典光源和原子化器的局限性分不開的，與經(jīng)典光譜法相比它具有如下優(yōu)點(diǎn)：
1. 因?yàn)镮CP光源具有良好的穩(wěn)定性，所以它具有很好的精密度，當(dāng)分析物含量不是很低即明顯高于檢出*，其RSD一般可在1%以下，好時可在0.5%以下。
2. 因?yàn)镮CP光源具有良好的原子化、激發(fā)和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對于多數(shù)元素，其檢出限一般為0.1～100ng/L。
3. 因?yàn)镮CP發(fā)射光譜法受樣品基體的影響很小，所以參比樣品無須進(jìn)行嚴(yán)格的基體匹配，同時在一般情況下亦可不用內(nèi)標(biāo)，也不必采用添加劑，因此它具有良好的準(zhǔn)確度。這是ICP光譜法主要的優(yōu)點(diǎn)之一。
4. ICP發(fā)射光譜法具有同時或順序多元素測定能力，特別是固體成像檢測器的開發(fā)和使用及全譜直讀光譜儀的商品化更增強(qiáng)了它的多元素同時分析的能力。
5. ICP發(fā)射光譜法的分析校正曲線具有很寬的線性范圍，在一般場合為5個數(shù)量級，好時可達(dá)6個數(shù)量級。
6. 由于ICP發(fā)射光譜法在一般情況下無須進(jìn)行基體匹配且分析校正曲線具有很寬的線性范圍，所以它操作簡便易于掌握，特別是對于液體樣品的分析。
ICP發(fā)射光譜法除具有上述主要優(yōu)點(diǎn)外目前尚有一些局限性，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：
2. 因?yàn)楣ぷ鲿r需要消耗大量Ar氣，所以運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高。
4. ICP 發(fā)射光譜法如果不與其他技術(shù)聯(lián)用，它測出的只是樣品中元素的總量，不能進(jìn)行價態(tài)分析。
1. 對于固體樣品一般需預(yù)先轉(zhuǎn)化為溶液，而這一過程往往使檢出限變壞。
3. 因目前的儀器價格尚比較高，所以前期投入比較大。
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