SF6氣體微水儀采用了單片機技術，儀器實現了露點、PPmV、濕度等單位間的自動轉換，無需人工查表換算。該儀器的電路部分*可靠，為了適用于野外作業(yè)需要，儀器采用了交直流兩用，自帶的電池可連續(xù)工作20個小時以上，拓寬了使用范圍，方便了用戶。
微水儀采用英國ALPHA公司傳感器技術，它采用DRYCAP-薄膜傳感技術，復和薄膜濕敏材料。聚酯薄膜式的探頭，抗冷凝、抗灰塵顆粒、不受汽油和大多數氣體影響。
 微水儀是采用阻容法原理，通過電容型高分子薄膜濕度傳感器，具有準確度高、重復性好、漂移小等優(yōu)點。

  SF6氣體微水儀技術指標
    微水范圍：-60～＋20℃、精度：±2℃
    響應時間（＋20℃）：-60～＋20℃、5s（63%）   45s（90%） 
                        ＋20～-60℃、10s（63%）  240s（90%）
    使用環(huán)境溫度：-10 ～+50℃
    使用環(huán)境濕度： 5 ～90%RH
    流量范圍：0～1升/分鐘
    工作壓力：0～1MPa
    工作電源：交、直流兩用，內置鋰電池
    儀器體積：250×200×90 mm3
    儀器重量：2.0Kg