由抽真空系統(tǒng)與壓縮系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)、存儲(chǔ)系統(tǒng)及冷凝系統(tǒng)。SF6氣體回收凈化充氣裝置是用于SF6氣體絕緣電器設(shè)備的制造廠組成，使用運(yùn)行科研等部門，對(duì)各種電器設(shè)備進(jìn)行抽真空，對(duì)電器設(shè)備充入SF6氣體，并從使用或試驗(yàn)的電器中回收SF6氣體，同時(shí)進(jìn)行凈化處理壓縮貯存到貯罐?；厥昭b置適用于各種電壓等級(jí)的SF6電器及GIS組合電器等。 具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統(tǒng)比較*。各功能的串聯(lián)或切換主要通過操作集中于面板一側(cè)的電控箱和球閥來完成。 

回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時(shí)，利用壓縮機(jī)的抽吸性和壓縮性把SF6電器設(shè)備內(nèi)一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機(jī)，并壓縮至某一較高的壓力。同時(shí)利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進(jìn)行液化、貯存。這樣連續(xù)抽吸至SF6壓縮機(jī)串聯(lián)運(yùn)行，直至達(dá)到回收終壓力。 

在充放時(shí)，首先利用本裝置的真空泵對(duì)SF6電器設(shè)備(或鋼瓶)和連接管路進(jìn)行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機(jī)的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內(nèi)的SF6充入SF6電器設(shè)備，直至達(dá)到所需的工作壓力。在需灌瓶時(shí)則同時(shí)利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。 

凈化功能是在完成上述回收、變壓器真空泵充放功能時(shí)同步完成的。 系統(tǒng)中設(shè)置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮

機(jī)的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。 

??系統(tǒng)回路中設(shè)置了干燥過濾器，以保證進(jìn)入貯存容器的SF6的純度并有效去除水分。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反變壓器真空泵復(fù)使用。

真空檢漏

當(dāng)氣室真空度至50Pa時(shí),停止抽真空。然后維持2h,進(jìn)行真空保持和真空度比較檢漏。如果氣室真空度不變,證明氣室密封良好。如果發(fā)現(xiàn)真空度下降,則要找到漏氣點(diǎn),進(jìn)行處理。一般采用氣泡法檢漏,即給真空檢漏不合格的氣室充入高純氮?dú)庵?13MPa,然后靜置2h,用肥皂水涂滿所有密封面及焊縫處,根據(jù)肥皂水在漏氣點(diǎn)產(chǎn)生的氣泡而發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)。對(duì)發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)的氣室進(jìn)行妥善處理后,要再次進(jìn)行抽真空和真空檢漏的步驟,直到檢漏合格