工作原理 

羅茨泵的工作原理如圖一所示，工作時，被抽氣體由進氣口進入轉(zhuǎn)子與泵體之間，這時一個轉(zhuǎn)子和泵體把氣體與進氣口隔開，被隔開的氣體(如圖中影線部分所示在轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷的旋轉(zhuǎn)過程中，被送到排氣口。在圖(a中，V0空間是處在封閉狀態(tài)的，因此，沒有壓縮和膨脹，但當轉(zhuǎn)子的峰部轉(zhuǎn)到排氣口邊緣 

時，由于V0部分的壓力較之排氣口處的壓力低，gis真空泵抽真空裝置為了使相連體積內(nèi)壓力均勻，氣體就會從排氣口處擴散到V0區(qū)域，其擴散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。當轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)動時，把V0處的氣體壓縮到排氣口將其排出。這時轉(zhuǎn)子的另一面與進氣口相連部分則吸入氣體，當轉(zhuǎn)子不斷地旋轉(zhuǎn)時，重復(fù)上述抽氣過程不斷地排出流進來

的氣體。這種工作過程相當于轉(zhuǎn)子空間由某一最小值增加到最大值，gis真空泵抽真空裝置然后再由最大值減小到最小值。這就是羅茨真空泵的容積作用原理。 

羅茨泵在入口壓力很低情況小工作時，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高(1000r/min--3000r/min，轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運動速度，這時碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓力較高的排氣口，再被排除。這就是羅茨真空泵的

產(chǎn)品特點： 

1. 轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，互不接觸，不需要用油潤滑。 2. 轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉(zhuǎn)速，從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。 

3. 泵工作時振動小，容積大，容積利用系數(shù)λnp=0.5左右。 

4. 在泵腔內(nèi)并不發(fā)生像機械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此它不需要排氣閥。也

正因如此，可抽除可凝性蒸汽。 

5. 啟動快，能夠在短時間內(nèi)達到極限真空。功率小，運轉(zhuǎn)維護費用低。 6. 在很寬的壓力范圍內(nèi)(1x103Pa~1Pa有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在(1x103Pa~1Pa時抽速都很小的缺陷。因此，做增壓泵用。羅茨泵的缺點是泵的轉(zhuǎn)子制造較難，抽除氫氣 

的效果不如油增壓泵高。