技術(shù)指標?三、六氟化硫包裝與儲存?

1包裝：40L鋼制無縫氣瓶，可以分裝，凈重50Kg，?2：儲存：?

a)儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源，庫溫不宜超過50℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。?

b)儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作，局部排風。操作人員必須經(jīng)過專門培訓，嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏

應(yīng)急處理設(shè)備。?

c)瓶裝氣體產(chǎn)品為高壓充裝氣體，使用時應(yīng)經(jīng)減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗，方能繼續(xù)使用。?

d)每瓶氣體在使用到尾氣時，應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa，六氟化硫GIS真空泵最小不得低于0.25MPa余壓，應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。瓶裝氣體產(chǎn)品在運輸儲存、使用時都應(yīng)分類堆放，嚴禁可燃氣體與助燃氣體堆放在一起，不準靠近明火和熱源，應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，六氟化硫GIS真空泵嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧，嚴禁野蠻裝卸。?

四、六氟化硫應(yīng)用?

l用作六氟化硫斷路器、互導傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體?l用作鎂鋁合金壓鑄的保護氣體?

l電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域