操作順序及方法裝置自身抽真空a) 首先確認(rèn)裝置全系統(tǒng)無壓力。若有壓力，需開啟相關(guān)閥門將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進(jìn)口和出口連接起來，依次開V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側(cè)板門

內(nèi)）。b) 觀察進(jìn)氣口壓力表M1，確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進(jìn)氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應(yīng)先排空系統(tǒng)內(nèi)的壓力使進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。c) 啟動真空泵電源，打開V1，對裝置自身抽真空。d) 開真空計(jì)電源，觀察真空度。e) 當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到極限真空后，依次關(guān)真空計(jì)電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關(guān)閉真空泵電源，抽真空結(jié)束。對開關(guān)設(shè)備抽真空a) 用軟管將開關(guān)設(shè)備與裝置進(jìn)口端連接起來。b) 開V2和開關(guān)設(shè)備的閥門。c) 確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動真空泵電源，開啟V1，對開關(guān)設(shè)備抽真空。d) 開真空計(jì)電源，觀察真空度。當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到所要求值后，依次關(guān)真空計(jì)電源，關(guān)設(shè)備閥門、V2、V1、和真空泵電源，抽真空結(jié)束。回收儲存a) 啟動制冷機(jī)組，開V7和V9，使液化容器和儲存容器內(nèi)壓力（由壓力表M4和M5指示）低于～,關(guān)V7和V9。b) 將軟管與裝置進(jìn)口端連接起來。c) 開V2，確定進(jìn)氣口壓力表M1在0表壓以下后，啟動真空泵電源，開V1對軟管抽真空。d) 開真空計(jì)電源，當(dāng)真空機(jī)VM顯示達(dá)到極限值時(shí)，可以認(rèn)為軟管內(nèi)空氣已抽凈，依次關(guān)真空計(jì)電源、V1、V2和真空泵電源。e) 把軟管與開關(guān)設(shè)備連接，依次開啟V2、V5、V8、V9、壓縮機(jī)電源，調(diào)節(jié)減壓閥V61（出廠已整定，一般不需要調(diào)節(jié)）使壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力表M2顯示小于,對容器內(nèi)的SF6氣體進(jìn)行回

收，同時(shí)進(jìn)行凈化和儲存。f) 當(dāng)壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力表M2低于或達(dá)到所要求回收終壓時(shí)，依次關(guān)開設(shè)備閥門、V2、V5、V8、V9、壓縮機(jī)電源、制冷機(jī)組電源，回收結(jié)束。六氟化硫（SF6）氣體回收充氣裝置真空泵利用儲存容器內(nèi)部壓力充氣a) 將軟管與裝置出口端連接起來。根據(jù)不同用途，必要時(shí)可在裝置出口端加裝減壓器。b) 對軟管抽真空（開V3、真空泵和V1，方法同上。結(jié)束時(shí)注意關(guān)閉V3、V1、真空泵、真空計(jì)、把軟管與開關(guān)設(shè)備連接）。c) 開V9，使SF6液化容器內(nèi)可能存有的SF6液體流入SF6液態(tài)儲存容器，再開開關(guān)設(shè)備閥門，慢慢打開V4，向SF6開關(guān)充氣。d) 若充氣后儲存容器內(nèi)的SF6氣體壓力下降與被充開關(guān)壓力趨于仍有液體存在時(shí)，可打開SF6氣化電加熱器，是液態(tài)SF6充分氣化，以提高儲存容器內(nèi)SF6氣體壓力。e) 當(dāng)開關(guān)設(shè)備內(nèi)達(dá)到所需壓力值時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉氣化電加熱器電源，在關(guān)閉V9、V4、開關(guān)設(shè)備閥門，開關(guān)設(shè)備閥門，充氣結(jié)束。利用壓縮機(jī)充氣a) 當(dāng)儲存容器（包括SF6儲存容器和SF6液化容器）內(nèi)壓力低于開關(guān)設(shè)備所需的工作壓力，且液位計(jì)已看不到液位，而開關(guān)仍需少量SF6氣體時(shí)，才能用此操作。b) 連接軟管至裝置出口端。并對軟管抽真空。c) 開啟開關(guān)設(shè)備閥門、V8、V4，然后再開V6和壓縮機(jī)電源，對開關(guān)設(shè)備充氣。d) 當(dāng)開關(guān)設(shè)備內(nèi)達(dá)到所需壓力值時(shí)，關(guān)V6和壓縮機(jī)電源、V8、V4、開關(guān)設(shè)備閥門充氣結(jié)束。對鋼瓶充灌SF6液體準(zhǔn)備工作：a) 用軟管將鋼瓶與裝置出口端連接起來，并對軟管抽真空。b) 根據(jù)需要可回收并抽凈鋼瓶內(nèi)殘余的SF6氣體至負(fù)壓，必要時(shí)，可對鋼瓶抽真空。方法：在SF6液態(tài)儲存容器液位已達(dá)極*充灌鋼瓶a) 開V7、制冷機(jī)組電源，在制冷機(jī)組作用下，使SF6液化容器內(nèi)的SF6不斷增加已達(dá)到一定的液位，關(guān)閉V7，六氟化硫（SF6）氣體回收充氣裝置真空泵并使SF6溫度TM繼續(xù)降至-10～0℃左右。b) 同時(shí)打開SF6液態(tài)儲存容器氣化電加熱器，使SF6液態(tài)儲存容器內(nèi)的SF6壓力上升至左右。c) 開鋼瓶閥門V4，開V7加壓，向鋼瓶充灌SF6液體，一般可充45kg。d) 結(jié)束時(shí)，關(guān)V7、鋼瓶閥門、V4、氣化電加熱器，開V3、V5、V8,用壓縮機(jī)將軟管內(nèi)SF6液體回收到液化容器內(nèi)后，關(guān)閉所有閥門，停機(jī)。 SF6氣體的循環(huán)干燥凈化處理a) 啟動制冷機(jī)組，開V7和V9,使液化容器和儲存容器內(nèi)壓力（由壓力表M4和M5指示）低于～,關(guān)V7和V9。b) 開V8、V9，開壓縮機(jī)電源，開V6，進(jìn)行循環(huán)干燥凈化處理。c) 循環(huán)干燥凈化處理一段時(shí)間（約半小時(shí)）后，關(guān)V6、壓縮機(jī)電源、V8、V9，和制冷機(jī)組電源，循環(huán)干燥凈化處理結(jié)束。分子篩再生a) 開V71和V3，先將干燥過濾器內(nèi)的SF6氣體放凈。b) 確定進(jìn)氣口壓力表M1在0表壓以下后，關(guān)V3，啟動真空泵電源，開V1和真空泵電源，開V1和真空計(jì)電源，對干燥過濾器抽真空。c) 開干燥過濾器電加熱電源，持續(xù)約4小時(shí)。關(guān)閉干燥過濾器電加熱電源，繼續(xù)抽真空直到干燥過濾器冷卻到室溫。d) 關(guān)真空計(jì)電源、V71，最后關(guān)V1和真空泵電源。（四）  注意事項(xiàng)1. 當(dāng)環(huán)境溫度低于5℃時(shí)，應(yīng)對真空泵、SF6壓縮機(jī)進(jìn)行預(yù)熱，提高潤滑油溫度后，才能啟動。2. 電源線中的接地線必須可靠接地。3. 不操作分子篩再生時(shí)，禁止啟動干燥過濾器電加熱器。4. 當(dāng)M1表指示被抽容器壓力大于0表壓，禁止啟動真空泵、真空計(jì)。5. 真空泵、壓縮機(jī)、制冷機(jī)組不得頻繁啟動。6. 不做SF6氣化加壓時(shí)，禁止啟動氣化加熱器。7. 回收、充氣或灌鋼瓶操作前先對連接膠管抽真空。8. 操作加熱器時(shí)，應(yīng)注意儲存容器溫度不宜超過+30℃。9. 操作制冷機(jī)組時(shí)，應(yīng)注意液化容器溫度不宜低于-30℃。10. 做其他實(shí)驗(yàn)時(shí)，應(yīng)斷開設(shè)備電源和連接軟管，以免損壞設(shè)備。