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分體式升華設(shè)備將熱場(chǎng)置于手套箱

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更新時(shí)間：2023-07-17 07:41:28瀏覽次數(shù)：125次

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此款設(shè)備簡(jiǎn)易分體式結(jié)構(gòu)，能將升華體置于手套箱內(nèi)部，控制部分及真空部分置于手套箱外，操作簡(jiǎn)易

此款設(shè)備簡(jiǎn)易分體式結(jié)構(gòu)，能將升華體置于手套箱內(nèi)部，控制部分及真空部分置于手套箱外，操作簡(jiǎn)易。能初步滿足材料進(jìn)出及升華過(guò)程中的氣氛保護(hù)要求。法蘭為球頭真空吸附方式密封，無(wú)需工具操作，大大降低了手套箱內(nèi)的操作難度，整個(gè)操作過(guò)程材料與大氣隔絕，避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染，是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的。  

設(shè)備型號(hào) BOF-3-50V
設(shè)備尺寸 2000*750*2000mm
外管尺寸 50*700mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度 100+200+100mm
額定功率 5KW
加熱元件 進(jìn)口KTL電阻絲
控溫元件 觸摸液晶屏+工控儀表
控溫精度 ±1℃
沖溫幅度 ±2℃
推薦升溫速率 5-10℃/min
機(jī)械泵抽速 10m³/h
分子泵抽速 90L/s
極限真空 10^-4Pa
顯示屏尺寸 10寸
工作溫度 軟件溫控保護(hù)溫600°,硬件支持溫度800°

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