溫度

1200℃（1 hour)

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ100*1650mm（管徑可選）

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

?30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，

‚操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序，

ƒ可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)（時(shí)間和距離）設(shè)定為程序控制

加熱長度

440mm

恒溫長度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V，50Hz

額定功率

3KW

信號(hào)頻率

13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍

500W（功率可選）

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機(jī)效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng) 

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)

100sccm，100sccm、200sccm；200sccm

（可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.5～1.5%

重復(fù)精度

±0.2%  

響應(yīng)時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體 

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6 

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m³/h（抽速可選）

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

電阻真空計(jì)參數(shù)：

配用規(guī)管：

ZJ-52T電阻規(guī)，

測(cè)量范圍：

10 5 ～10 -1 Pa，

測(cè)量路數(shù)：

1路

控制范圍：

 5×10 3 ～5×10 -1 Pa，

控制方式：

繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

電源：

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

功耗：

20W