當前位置：安徽貝意克設備技術(shù)有限公司>>非標定制>> 真空氣氛滑軌爐 BTF-1200C-DSL
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所 在 地合肥市
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更新時間：2023-07-17 07:26:10瀏覽次數(shù)：81次
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間歇式CVD回轉(zhuǎn)爐 BTF-1200C-III-150-CVD
智能型大口徑高真空退火爐 BTF-1100C-IIIA-05
一、設備特點
BTF-1200C-DSL 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有石英管和真空水冷法蘭，它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計，采用電阻絲為加熱元件。溫度控制位30 段可編程溫度控制器，控溫精度為±1°C。內(nèi)部配有石英材質(zhì)樣品架，可以自由滑動實現(xiàn)快速升降溫功能。根據(jù)工藝需要，爐管內(nèi)部可引入電極，適合更多數(shù)據(jù)采集需要。 承載樣品的托架可直接劃出爐腔，使進出樣品更方便簡易，同時能實驗高溫條件下進出樣品。
二、技術(shù)參數(shù)
1、加熱系統(tǒng)
| 溫度 | 1200℃ |
| 使用溫度 | ≤1000℃ |
| 爐管 | Φ100 |
| 加熱區(qū)長度 | 440mm |
| 爐膛材料 | 超細氧化鋁纖維吸附成型 |
| 熱電偶類型 | K型熱熱偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 鋼管材質(zhì) | 310S |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能，儀表為進口的歐陸表3508型 |
| 推薦升溫速度 | 10min/℃ |
| 爐門結(jié)構(gòu) | 開啟式 |
| 工作電源 | AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz |
| 額定功率 | 3KW |
| 外型尺寸 | 590×380×500 mm |
| 密封系統(tǒng) | 爐管配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭）端口可按實際使用擴展。 |
2、低真空機組
VAU-02是一套低真空機組，內(nèi)部安裝DRV-10機械泵1臺，電阻真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 抽氣速率 | 10m3/h |
| 極限真空 | 4X10-2Pa |
| 實驗真空度 | 1.0X10-1Pa |
| 容油量 | 1.1L |
| 進氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
| 噪音 | 50dB |
| 外型尺寸 | 600×600×650m |
3、真空計參數(shù)：
| 配用規(guī)管 | ZJ-52T電阻規(guī) |
| 測量范圍 | 10 5 ～10 -1 Pa |
| 測量路數(shù) | 1路 |
| 控制范圍 | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa |
| 控制方式 | 繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載 |
| 電源 | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
| 功耗 | 20W |
4、冷水機
| 工作電壓 | AC208-240V 50hz |
| 工作電流 | 1.4-2.1A |
| 壓縮機功率 | 0.295kw |
| 制冷量 | 2361btu/h |
| 水箱容量 | 6L |
| 流量 | 10L/min |
| 安全保護 | 壓縮機過流保護流量報警，超溫報警 |
| 凈重 | 26kg |
| 機械尺寸 | 550x280x430mm |
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