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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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實(shí)驗(yàn)級(jí)蒸鍍機(jī)EV200

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地合肥市

聯(lián)系方式：董經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-07-13 10:16:47瀏覽次數(shù)：109次

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實(shí)驗(yàn)級(jí)蒸鍍機(jī)EV200

基本信息

項(xiàng)目

參數(shù)

備注

基板尺寸

100x100mm/25x25mm

根據(jù)基板定制

旋轉(zhuǎn)速率

0-30 rpm

 

基板高度調(diào)節(jié)

0-150mm

 

設(shè)備整體尺寸

760x620x2100mm

 

蒸發(fā)舟數(shù)量

6個(gè)

 

低溫蒸發(fā)源

5-10cc  @400℃

 

高溫蒸發(fā)源

5-10cc @1200℃

 

前級(jí)泵

6.2 m3/h 干泵

可選配

主泵

260 L/s 分子泵

可選配

本底真空度

9E-7 Torr

 

本系統(tǒng)可滿足工藝過(guò)程驗(yàn)證有機(jī)及金屬材料，滿足研究過(guò)程中對(duì)于材料真空蒸鍍的初期性能參數(shù)確認(rèn)，并可滿足兩種材料共蒸。

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