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BTF-1200C-Ⅲ-S-400C-D 前端預熱法硫化鉬制備CVD設備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地合肥市

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更新時間:2023-07-01 09:37:47瀏覽次數(shù):78次

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一、設備特點前端預熱法硫化鉬制備CVD設備由預熱爐、三溫區(qū)管式爐、低真空機組和供氣系統(tǒng)組成

一、設備特點

前端預熱法硫化鉬制備CVD設備由預熱爐、三溫區(qū)管式爐、低真空機組和供氣系統(tǒng)組成。

前端配有可加熱到500℃的預加熱器,輔助硫粉蒸發(fā),后端為三溫區(qū)硫化爐,溫度控制精確,操作簡便。同時搭配三路質(zhì)量流量計系統(tǒng),可以精確控制實驗所需的氣體流量,低真空機組可以滿足抽真空的需求。

 

二、技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)熱場Φ80mm

 主要特點:

 1、可通氣氛抽真空,其開啟式結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便,操作簡捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程;

 2、根據(jù)管徑不同,法蘭分為卡箍和折頁兩種密封方式,安裝拆卸簡便快捷,減去了取放料時的繁瑣操作

 3、爐管工件橫穿與上下各6組進口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內(nèi)外溫差可控制在3度左右;

 4、體積小,性價比高。

    該設備廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

 5、法蘭進氣端裝有兩個進氣口和截止閥。

 

 前端預熱設備指標

 前端預熱器在二硫化鉬實驗中,可對硫,磷等固態(tài)源進行加熱蒸發(fā)。

 型號:BTF-500C

 工作溫度:500℃

 溫度:800℃

 升溫速率:30℃/min

 推薦升溫速率:10℃/min

 控溫方式:智能化30段可編程控制

 工作電壓:AC220 V

 額定功率:800W

 控溫精度:±1℃

 加熱元件:電阻絲

 

 反應腔體指標:

 額定功率:7KW

 額定電壓:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 溫度:1200

 持續(xù)工作溫度≤1100

 推薦升溫速率:15/min

系統(tǒng)熱場 Φ80mm

爐管尺寸:高純石英管Φ80mm

加熱區(qū)長度:200+200+200mm

恒溫區(qū)長度:300mm

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

 加熱元件:電阻絲
供氣系統(tǒng)(3路)

主要特點:

該供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制,此款設備與各款真空管式爐和真空機組組成CVD系統(tǒng)。

 

技術(shù)參數(shù):

工作電壓:185~245V50 Hz

輸出功率:18W

進出氣:3路進氣,2路出氣。其中2路氣體經(jīng)過質(zhì)量流量計進入混氣罐混合后輸出,1路氣體進入質(zhì)量流量計后單獨輸出。

流量計標準:MFC1MFC2ArO2;

MFC3Ar

量程可選,根據(jù)需求定制

工作溫度:4~45

工作壓差:0.1~0.5Mpa

壓力:3Mpa

準確度:±1.5%F.S

壓力表測量范圍:-0.1~0.15 MPa0.01 MPa/grid

混氣罐:Φ80*120mm

截止閥:Φ6mm

 尺寸:600*600*650mm
低真空機組

 設備特點:

 VAU-02是一套低真空機組,內(nèi)部安裝機械泵1臺,復合真空計1套,含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

 

 技術(shù)參數(shù):

 1、技術(shù)參數(shù):

 空氣相對濕度≤85%

 工作電電壓:220V±10% 50~60HZ

 功率:1千瓦

 抽氣速率:10m3/h

 極限真空:4X10-2Pa

 實驗真空度:1.0X10-1Pa

 容油量:1.1L

 進氣口口徑:KF25

 排氣口口徑:KF25

 轉(zhuǎn)速:1450rpm

 噪音:50dB

外型尺寸:600×600×650m

2、真空計參數(shù):

型號:PPG-800K

適用范圍:適合于各類氣體或甚至于混合氣體的場合

測量范圍:1.0×10-3~1.33×105Pa

測量精度:1.33×102~1.33×105Pa ±0.15%的滿量程

安裝方向:任意無限制

電源電壓:18~30VDC

電源功率:1.4W(開機時2W

外型尺寸(含規(guī)管):48×30×6893mm

 

尾氣處理系統(tǒng)  雙級尾氣處理氣體,前級做一個液封安全瓶,后期為NaOH溶劑吸收 瓶。瓶體為304不銹鋼材質(zhì),內(nèi)噴四氟。

 

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