大型卷對卷連續(xù)石墨烯膜生長設(shè)備-安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

大型卷對卷連續(xù)石墨烯膜生長設(shè)備

基于廣大科研界對實(shí)現(xiàn)大面積單層石墨烯薄膜在工業(yè)銅箔基底上卷對卷宏量制備的需求,我公司開發(fā)出一種新的卷對卷連續(xù)快速生長石墨烯薄膜的方法，設(shè)計(jì)并研制了可達(dá)到中試水平的石墨烯卷對卷化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，通過對石墨烯成核與生長的調(diào)控實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)石墨烯薄膜生長；此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)，真空機(jī)組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放銅箔的密封裝置，自動化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔的密封裝置），收放銅箔的密封裝置內(nèi)分別對應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點(diǎn)，可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)模化生長。

大型卷對卷連續(xù)石墨烯膜生長設(shè)備

技術(shù)參數(shù)

額定功率	KW	3
額定電壓	V	AC 208-240V 50/60 Hz
溫度	℃	1200
持續(xù)工作溫度	℃	≤1100℃
*升溫速率	℃/min	≤30℃/min
爐管尺寸	mm	高純石英管Φ100×1400mm（可使用基底銅箔寬度≤80mm）（其他尺寸可定制）
加熱區(qū)長度	mm	400
恒溫區(qū)長度	mm	200
控溫方式	人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制。
無紙記錄	1、內(nèi)置存儲記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)。 2、系統(tǒng)采用自動化工藝流程，設(shè)定好工藝一鍵操作。降低人為因素，工藝可靠性可以達(dá)到99.9%。
控溫精度	℃	±1
加熱元件	進(jìn)口電阻絲
真空進(jìn)料腔	進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室與出料排氣腔體外殼以亞克力為主要材料，電機(jī)帶動銅箔在密閉生長條件下運(yùn)動，并通過冷卻裝置后收緊成卷。
氣路系統(tǒng)配制	內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量；設(shè)有靜態(tài)混氣室，有助于氣體充分混合，按要求配比。
射頻電源配制	RF射頻電源等離子輔助模塊，大大降低了石墨烯的生長溫度，是銅箔的機(jī)械強(qiáng)度適合連續(xù)收放
真空系統(tǒng)配制	真空機(jī)組內(nèi)含真空泵，數(shù)字真空計(jì)以及相關(guān)的連接調(diào)節(jié)閥，可提供一個可控的低壓環(huán)境。
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)	CE
尺寸（長X寬X高）	mm	22806001280
凈重	Kg	約450