用途和特點(diǎn)：
       XQ15-G3實(shí)用型激光平面干涉儀在保留XQ15-G1激光平面干涉儀的用途及特點(diǎn)的狀況下，更具實(shí)用性，可更廣泛適用于大批量生產(chǎn)單位的生產(chǎn)車間。檢驗(yàn)車間的平面度、微小楔角測(cè)量，更適合于大平板生產(chǎn)流水線快速篩選的應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)：
標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準(zhǔn)直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm
光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸----------------530×270×150mm