1、臭氧發(fā)生器的結(jié)構(gòu)和加工精度；

2、冷卻方式和條件；

3、驅(qū)動(dòng)電壓和驅(qū)動(dòng)頻率；

4、介電體材料；

5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。

6、發(fā)生器電源系統(tǒng)的效率（效率高，熱量轉(zhuǎn)化少。）；

臭氧是一種氧化性*的不穩(wěn)定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時(shí)會(huì)在1分鐘內(nèi)衰減一半。在 40~50℃ 時(shí)衰減達(dá)到80%。超過60℃臭氧會(huì)馬上分解。

臭氧產(chǎn)量是指臭氧發(fā)生器單位時(shí)間內(nèi)臭氧的產(chǎn)出量；臭氧濃度數(shù)值與進(jìn)入臭氧發(fā)生器總氣量數(shù)值的乘積即為臭氧產(chǎn)量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發(fā)生器標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定臭氧發(fā)生器規(guī)格型號(hào)使用臭氧產(chǎn)量表示和區(qū)分。小型臭氧發(fā)生器使用g/h為單位，大型臭氧發(fā)生器使用kg/h為單位區(qū)分規(guī)格的大小。