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ES 氣體質(zhì)量流量計(jì) EFM500系列

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更新時(shí)間：2023-07-03 07:31:10瀏覽次數(shù)：232次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EFM500由希臘ES SYSTEM公司開發(fā)，是一種基于熱膜風(fēng)速計(jì)原理的用于質(zhì)量氣體流量測(cè)量的MEMS氣體流量傳感器系列。EFM500氣體流量傳感器的特征是：可雙向檢測(cè)氣體流量，測(cè)量范圍是±（20-500 ）SLPM，總誤差為讀數(shù)的1%。流線型對(duì)稱設(shè)計(jì)，高質(zhì)量塑料制造，即使在雙向流量下也呈現(xiàn)非常低的壓降。校準(zhǔn)氣體為空氣，也可根據(jù)要求提供其他非腐蝕性氣體。工作電壓低至3.3V，EFM500氣體流......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特色

EFM500氣體流量傳感器的特征是：可雙向檢測(cè)氣體流量，測(cè)量范圍是±（20-500 ）SLPM，總誤差為讀數(shù)的1%。流線型對(duì)稱設(shè)計(jì)，高質(zhì)量塑料制造，即使在雙向流量下也呈現(xiàn)非常低的壓降。校準(zhǔn)氣體為空氣，也可根據(jù)要求提供其他非腐蝕性氣體。

性能指標(biāo)

校準(zhǔn)氣體空氣，其它可用氣體根據(jù)要求

流量范圍 ±（ 20-500 ）SLPM，雙向或單向

供電電壓 3.3V 或 5V

工作壓力 1.45BarA

預(yù)熱時(shí)間 35ms

輸出信號(hào) I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

總誤差 1%讀數(shù)

ADC分辨率 16位

輸出刷新率 1ms（ 1KHz ）

壓損 <750pa@200 SLPM

操作溫度 - 40℃ ~ 85℃

校準(zhǔn)溫度 0℃ ~ 50℃

濕度 0% - 95% RH, 無冷凝

尺寸 44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材質(zhì) 接液材質(zhì)：增強(qiáng)玻璃熱塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

環(huán)氧樹脂、硅橡膠、FR4、聚氨酯、316不銹鋼

外殼材質(zhì)：增強(qiáng)玻璃熱塑性聚合物

過程接口 22mm ISO 5356

電氣接口 2mm 鎖定連接器

認(rèn) 證 RoHS, CE,WEEE

選項(xiàng)配件

評(píng)估套件

氣體流量評(píng)估套件被設(shè)計(jì)成一款即插即用型設(shè)備，無需定制軟件或硬件設(shè)計(jì)及開發(fā)，旨在為用戶提供一個(gè)緊湊的解決方案來評(píng)估EFM500系列雙向氣體質(zhì)量流量計(jì)。開發(fā)了一個(gè)用戶友好的軟件用于記錄和監(jiān)測(cè)EFM500系列的流量數(shù)據(jù)。

關(guān)鍵詞：氣體流量傳感器連接器氣體質(zhì)量流量計(jì)

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