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操作前準(zhǔn)備工作

2.1設(shè)備的管路連接：采用專用的鋼編軟管連接、軟管連接頭，連接處用密封圈密封。

2.2檢查電源相序：接上電源后，設(shè)備儀表和指示燈不亮?xí)r，則相序錯(cuò)誤。搬動(dòng)相序轉(zhuǎn)換后設(shè)備可恢復(fù)正常。

操作順序及方法

3.1裝置自身抽真空

a)首先確認(rèn)裝置全系統(tǒng)無(wú)壓力。若有壓力，需開(kāi)啟相關(guān)閥門將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進(jìn)口和出口連接起來(lái)，依次開(kāi)V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側(cè)板門內(nèi)）。

b)觀察進(jìn)氣口壓力表M1，確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進(jìn)氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應(yīng)先排空系統(tǒng)內(nèi)的壓力使進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。

c)啟動(dòng)真空泵電源，打開(kāi)V1，對(duì)裝置自身抽真空。

d)開(kāi)真空計(jì)電源，觀察真空度。

e)當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到極限真空后，依次關(guān)真空計(jì)電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關(guān)閉真空泵電源，抽真空結(jié)束。

3.2對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備抽真空

a)用軟管將開(kāi)關(guān)設(shè)備與裝置進(jìn)口端連接起來(lái)。

b)開(kāi)V2和開(kāi)關(guān)設(shè)備的閥門。

c)確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動(dòng)真空泵電源，開(kāi)啟V1，對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備抽真空。