【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】2020年10月27日，上海市市場監(jiān)督管理局主持召開了由上海計(jì)量院承擔(dān)的科研項(xiàng)目“微納米測量儀在微球和超高樣品檢測中的應(yīng)用研究”驗(yàn)收會(huì)。與會(huì)專家聽取了項(xiàng)目組的匯報(bào)，審閱了項(xiàng)目組提供的驗(yàn)收資料后，一致認(rèn)為該項(xiàng)目達(dá)到計(jì)劃任務(wù)書既定的考核指標(biāo)，同意項(xiàng)目通過驗(yàn)收。
 

　　項(xiàng)目針對(duì)超精密加工領(lǐng)域中典型零部件微球和超高樣品的表面形貌檢測需求，對(duì)跨尺度微納米測量儀的多維定位樣品臺(tái)、測頭掃描子系統(tǒng)和應(yīng)用軟件進(jìn)行二次應(yīng)用開發(fā)，完成微球檢測系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)、超高超寬樣品檢測系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)和微納米測量儀測量指標(biāo)提升與評(píng)價(jià)等研究工作。項(xiàng)目組發(fā)表學(xué)術(shù)論文2篇，申請(qǐng)發(fā)明專利1項(xiàng)，獲得軟件著作權(quán)6項(xiàng)。
 

　　項(xiàng)目是在上海計(jì)量院承擔(dān)的重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果基礎(chǔ)上，繼續(xù)鉆研微納米測量技術(shù)，進(jìn)一步提升了微納米測量儀的測量范圍、重復(fù)性及測量不確定度，并解決微納制造領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用問題。