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微電子所等在器件物理研究中獲進展

儀表研發(fā) 2020年09月30日 11:35:15來源:微電子研究所 22608
摘要傳統(tǒng)的三維半導(dǎo)體材料表面存在大量的懸掛鍵,可通過捕獲和散射等方式影響和限制自由載流子的運動,因此,表面態(tài)的設(shè)計、制造和優(yōu)化是提高三維半導(dǎo)體器件性能的關(guān)鍵因素。

  【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】傳統(tǒng)的三維半導(dǎo)體材料表面存在大量的懸掛鍵,可通過捕獲和散射等方式影響和限制自由載流子的運動,因此,表面態(tài)的設(shè)計、制造和優(yōu)化是提高三維半導(dǎo)體器件性能的關(guān)鍵因素。類似于三維半導(dǎo)體材料的表面態(tài),單層二維材料(如二硫化鉬和石墨烯)在邊界原子的終止和重建可以產(chǎn)生邊界態(tài),這使二維材料產(chǎn)生較多獨特的現(xiàn)象,并得到廣泛應(yīng)用。
 
  中國科學(xué)院院士、中科院微電子研究所微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室研究員劉明,研究員李泠帶領(lǐng)的科研團隊,與中科院物理研究所、北京理工大學(xué)、美國加州大學(xué)洛杉磯分校合作,對單層MoS2/WSe2晶體管進行器件測試、掃描隧道顯微鏡實驗觀測和第一性原理計算,發(fā)現(xiàn)二維材料的邊界態(tài)是控制器件亞閾值特性及影響器件遷移率的關(guān)鍵因素,并提出這種邊界態(tài)是拉廷格液體的物理本質(zhì)。該科學(xué)發(fā)現(xiàn)對于研究器件性能優(yōu)化和低功耗應(yīng)用具有一定意義。
 
  相關(guān)研究成果以Possible Luttinger liquid behavior of edge transport in monolayer transition metal dichalcogenide crystals為題,發(fā)表在Nature Communications上。微電子所博士后楊冠華和物理所邵巖博士為論文第一作者,劉明、李泠,北京理工大學(xué)教授王業(yè)亮、美國加州大學(xué)洛杉磯分校教授段鑲鋒為論文共同通訊作者。
 
  研究工作得到國家自然科學(xué)基金委、科技部、中科院等的資助。

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