【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】12月24日，全國幾何量長度計量技術(shù)委員會發(fā)布了《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見，現(xiàn)面向相關(guān)單位和專家征求意見，意見反饋郵箱wangwn@nim.com.cn。
 

　　透射電子顯微鏡(簡稱“透射電鏡”)是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到具有薄區(qū)的試樣上，電子束穿透試樣并與之作用，形成明暗不同的影像或衍射花樣，并在放大、聚焦后在成像器件上顯示出來。透射電鏡的分辨率極高，能夠同時獲得樣品的顯微形貌、尺寸、化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)等信息，在納米材料、生物醫(yī)藥、新能源等領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。
 

　　由于磁透鏡和電子槍的電流隨時間的變化等因素使得透射電鏡的測量長度值會產(chǎn)生誤差，有些值的誤差可達(dá)到10%，影響測量結(jié)果準(zhǔn)確性。因此，迫切需要建立透射電鏡的量傳體系，為納米技術(shù)領(lǐng)域的精準(zhǔn)測量提供技術(shù)保障。
 

　　本規(guī)范主要依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》進(jìn)行編制，JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》、JJF 1094-2002《測量儀器特性評定》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
 

　　本規(guī)范為制定，主要技術(shù)內(nèi)容和計量特性參考了JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》和GB/T 34002-2017《微束分析　透射電子顯微術(shù)　用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法》的部分內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范按照J(rèn)JF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》的要求制定透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范，在內(nèi)容和格式上與JJF 1071—2010保持一致。校準(zhǔn)規(guī)范的具體內(nèi)容有范圍、應(yīng)用文件、術(shù)語和定義、概述、計量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)、復(fù)校時間間隔等。
 

　　本規(guī)范參考JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》和GB/T 34002-2017《微束分析 透射電子顯微術(shù) 用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法》，確定透射電子顯微鏡4項計量特性，分別為測長示值誤差、測長重復(fù)性、正交性誤差和漂移速率。針對每一校準(zhǔn)項目，規(guī)定了使用的標(biāo)準(zhǔn)樣品，明確了相應(yīng)的校準(zhǔn)操作。
 

　　本規(guī)范中的技術(shù)指標(biāo)和校準(zhǔn)方法均進(jìn)行了實驗驗證；依據(jù)JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》對儀器測長示值誤差測量結(jié)果的不確定度進(jìn)行分析，進(jìn)一步驗證了所采用的測量方法合理、可行。
 

　　本規(guī)范是針對透射電子顯微鏡校準(zhǔn)制定的計量技術(shù)規(guī)范。本規(guī)范適用于透射電子顯微鏡的校準(zhǔn)。(更多詳情請見附件)