【儀表網(wǎng) 儀表會(huì)議】二次離子質(zhì)譜(SMS)是離子質(zhì)譜學(xué)的一個(gè)分支,也是表面分析的有利工具。10月8-11日,第六屆中國二次離子質(zhì)譜會(huì)議在中科院大連化學(xué)物理研究院召開,對SIMS儀器新研發(fā)進(jìn)展做了了解。
從20世紀(jì)60年代臺(tái)商用二次離子質(zhì)譜設(shè)備誕生至今,這項(xiàng)技術(shù)被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、材料學(xué)、地質(zhì)學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、天體物理等各個(gè)領(lǐng)域,隨著探測方法的改進(jìn),二次離子質(zhì)譜技術(shù)不斷得到發(fā)展。
會(huì)議上,專家匯報(bào)了“同位素地質(zhì)學(xué)專用TOF-SIMS科學(xué)儀器高分辨飛行時(shí)間質(zhì)量分析器”項(xiàng)目研制進(jìn)程。這是國家重大科研儀器設(shè)備研制專項(xiàng),于2012年3月啟動(dòng),由中國地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所牽頭,其余參與單位有中科院大連化學(xué)物理研究所、吉大、中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所。
飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)是重要的表面化學(xué)分析手段之一,可用于多種固體樣品的直接分析。其大優(yōu)勢在于脈沖形式離子束的應(yīng)用,較現(xiàn)有的其他種類的二次離子質(zhì)譜技術(shù),極大地減小了樣品損耗,適合于珍貴微小的地質(zhì)樣品分析。二次離子檢測是TOF-SIMS核心技術(shù),增加質(zhì)量分析器的傳輸效率可提高TOF-SIMS分析精度,但同時(shí)會(huì)引入調(diào)試?yán)щy、譜峰重疊等問題。SIMS領(lǐng)域?qū)<以跁?huì)議上討論了項(xiàng)目進(jìn)展中遇到的問題,青年科研人員也對SIMS的基礎(chǔ)、儀器和分析應(yīng)用做了初步培訓(xùn)和了解。
會(huì)后,專家組參觀了研究院102組實(shí)驗(yàn)室,對項(xiàng)目運(yùn)行做了考察并作出高度評價(jià)。第六屆中國二次離子質(zhì)譜會(huì)議為大家提供了交流的平臺(tái),了解了新研究成果,會(huì)議聚焦的二次離子質(zhì)譜研究也取得了一定進(jìn)展。來自美、英、日等國的SIMS領(lǐng)域?qū)<遥扒迦A大學(xué)教授、中國臺(tái)灣國立大學(xué)教授、中科院研究院等上百位研究人員出席了會(huì)議。