【儀表網(wǎng) 儀表企業(yè)】北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司日前攜CS系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器參展國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展。
　　

　　此次國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展重點(diǎn)展示“十二五”以來的重大科技成果和重要工作進(jìn)展。展覽內(nèi)容共分“總況、重大專項(xiàng)、基礎(chǔ)研究、戰(zhàn)略高技術(shù)、農(nóng)業(yè)科技、民生科技、區(qū)域創(chuàng)新、大眾創(chuàng)業(yè)萬眾創(chuàng)新、創(chuàng)新人才、融入創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)”十個(gè)展區(qū)。七星電子生產(chǎn)的流量計(jì)作為02重大專項(xiàng)中關(guān)鍵核心部件產(chǎn)品，受邀展出。
　　
　　大規(guī)模集成電路芯片制造的許多關(guān)鍵工藝?yán)缈涛g、PVD、CVD、擴(kuò)散爐等工序都要求對工藝氣體的流量進(jìn)行的控制，而氣體質(zhì)量流量控制器是對氣體流量進(jìn)行精密測量和控制的核心部件，在半導(dǎo)體設(shè)備中具有極其重要的作用。
　　
　　在七星電子的CS系列產(chǎn)品問世前，中國大陸的半導(dǎo)體生產(chǎn)線所用的氣體質(zhì)量流量控制器基本由國外產(chǎn)品所壟斷。一直以來嚴(yán)重制約了我國集成電路制造行業(yè)的良性發(fā)展。在國家02專項(xiàng)的支持下，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)深挖市場需求，采用創(chuàng)新的傳感器設(shè)計(jì)，重視軟件開發(fā)，研制出CS系列數(shù)字產(chǎn)品，打破了我國集成電路裝備所需氣體質(zhì)量流量控制器長期依賴進(jìn)口的局面。
　　
　　產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)在潔凈度、小流量、準(zhǔn)確度，響應(yīng)時(shí)間、寬電源等方面達(dá)到了先進(jìn)水平，并且在本土化服務(wù)等方面具備優(yōu)勢。產(chǎn)品已經(jīng)在中芯、上海華虹宏力、北方微電子等大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線和半導(dǎo)體設(shè)備上使用，取得了良好的效果，通過專項(xiàng)技術(shù)延伸已成功應(yīng)用在光伏電池、LED、真空、石油化工等多個(gè)領(lǐng)域，為我國眾多行業(yè)提供了高水平的氣體流量控制解決方案。自產(chǎn)品推向市場以來，累計(jì)銷售近40000余臺，出口12000余臺，取得了良好的經(jīng)濟(jì)和社會效益。
　　
　　在展覽中，七星電子氣體質(zhì)量流量控制器，同載人航天和探月工程、天河二號超級計(jì)算機(jī)、北斗導(dǎo)航系統(tǒng)、蛟龍?zhí)栞d人深潛器等戰(zhàn)略高技術(shù)產(chǎn)品一同展示，也體現(xiàn)了國家對大規(guī)模集成電路中的核心部件的重視。