【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)張軍等聯(lián)合南京大學(xué)陸海、張榮團(tuán)隊(duì)在紫外波段單光子激光雷達(dá)方向取得新進(jìn)展，通過設(shè)計制備基于4H-SiC材料的單光子雪崩光電二極管，發(fā)展主動淬滅主動恢復(fù)讀出電路技術(shù)，研制出具有實(shí)用價值的紫外半導(dǎo)體單光子探測器，利用該探測器首次實(shí)現(xiàn)了單光子差分吸收臭氧激光雷達(dá)系統(tǒng)，并實(shí)現(xiàn)1~3.5km高度范圍內(nèi)的臭氧濃度監(jiān)測，相關(guān)成果發(fā)表于《應(yīng)用物理快報》[Appl. Phys. Lett. 125, 211103 (2024)]。
 

　　紫外單光子探測技術(shù)在大氣環(huán)境監(jiān)測、尾焰探測、電弧檢測和火災(zāi)預(yù)警等應(yīng)用場景中發(fā)揮著重要作用。光電倍增管是紫外波段傳統(tǒng)的單光子探測器件，但具有靈敏度低、壽命短、磁場敏感等劣勢，無法在惡劣環(huán)境中(高溫、震動、強(qiáng)輻射)長時間穩(wěn)定工作。相比之下，寬禁帶半導(dǎo)體4H-SiC材料具有熱導(dǎo)率高、抗輻射能力強(qiáng)、電子飽和漂移速度高以及性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，在研制新型紫外半導(dǎo)體單光子探測器方面具有顯著的材料性能優(yōu)勢。然而，長期以來基于該材料的單光子探測器性能指標(biāo)差，特別是探測效率極低、暗計數(shù)率極高，使得該類型單光子探測器不具有實(shí)用價值。
 

　　中國科大、南京大學(xué)團(tuán)隊(duì)近年來致力于紫外半導(dǎo)體單光子探測器的聯(lián)合攻關(guān)，取得了一系列新突破。2023年，研究團(tuán)隊(duì)通過優(yōu)化4H-SiC單光子雪崩光電二極管新型傾斜臺面結(jié)構(gòu)和制備工藝，并發(fā)展被動淬滅主動恢復(fù)讀出電路技術(shù)，首次研制出了具有實(shí)用價值的小型化4H-SiC單光子探測器樣機(jī)，在266 nm波段探測效率為10.3%、暗計數(shù)率為133 kcps[Rev. Sci. Instrum. 94, 033101 (2023)]。此后，研究團(tuán)隊(duì)利用該探測器，首次演示了紫外波段單像素單光子成像實(shí)驗(yàn)，在接收光強(qiáng)約6pW的條件下實(shí)現(xiàn)了單光子成像，成像分辨率為192×192像素，幀率為4fps [Appl. Phys. Lett. 123, 024005 (2023)]。
 

　　圖1. (a)4H-SiC單光子雪崩光電二極管結(jié)構(gòu)；(b)主動淬滅主動恢復(fù)讀出電路

 

　　在此基礎(chǔ)上，研究團(tuán)隊(duì)在4H-SiC單光子探測器性能指標(biāo)方面持續(xù)開展攻關(guān)。一方面，通過迭代優(yōu)化4H-SiC單光子雪崩光電二極管結(jié)構(gòu)和工藝提升了器件的單光子探測效率；另一方面，針對4H-SiC單光子雪崩光電二極管器件的特征發(fā)展了新型主動淬滅主動恢復(fù)讀出電路，在有效抑制探測器后脈沖概率的同時顯著提升了飽和計數(shù)率。經(jīng)表征，新探測器在266nm波段探測效率達(dá)16.6%、暗計數(shù)率為138kcps、后脈沖概率為2.7%、飽和計數(shù)率達(dá)13Mcps，基本滿足了紫外單光子激光雷達(dá)應(yīng)用對單光子探測器的性能需求。
 

　　研究團(tuán)隊(duì)利用該探測器首次在單光子差分吸收臭氧激光雷達(dá)系統(tǒng)中開展相關(guān)應(yīng)用，該激光雷達(dá)系統(tǒng)將289nm和316nm的脈沖激光同時垂直發(fā)射到大氣中，由于臭氧分子對兩種波長激光的吸收系數(shù)不同，通過對比兩種激光回波信號的衰減速度可以反演出大氣不同高度處的臭氧濃度。為了進(jìn)行數(shù)據(jù)比對，實(shí)驗(yàn)中將回波信號分為兩路，分別用傳統(tǒng)的光電倍增管和新型4H-SiC單光子探測器進(jìn)行探測和數(shù)據(jù)反演，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明在1~3.5km范圍內(nèi)使用兩種探測器反演出的臭氧濃度分布高度吻合。上述工作為紫外波段單光子激光雷達(dá)提供了一種高性能、高環(huán)境耐受性的實(shí)用化解決方案。
 

圖2.單光子差分吸收臭氧激光雷達(dá)系統(tǒng)。(a)原理圖；(b)臭氧濃度連續(xù)觀測結(jié)果
 

　　該工作得到科技部、國家自然科學(xué)基金委、中國科學(xué)院、安徽省等資助，同時得到山東國耀量子雷達(dá)科技有限公司的技術(shù)支持。