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半導(dǎo)體所在垂直自旋器件的全電寫入關(guān)鍵技術(shù)方面取得進(jìn)展

研發(fā)快訊 2024年09月11日 09:58:08來源:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 14501
摘要傳統(tǒng)材料(如自旋霍爾效應(yīng)材料等)由于對稱性保護(hù)只能產(chǎn)生面內(nèi)橫向極化自旋,其角動量無法翻轉(zhuǎn)垂直磁化比特。尋找垂直有效磁場和垂直極化自旋的有效產(chǎn)生方法成為近年來的科技前沿?zé)狳c。

  【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】同時利用“電荷”、“自旋”和“軌道”三大自由度的自旋存算器件是超越摩爾信息技術(shù)的重要選項。垂直磁化自旋比特具有10納米以下尺寸保持良好熱穩(wěn)定性的潛在優(yōu)勢,但面臨如何實現(xiàn)高能效全電寫入的關(guān)鍵技術(shù)難題。傳統(tǒng)材料(如自旋霍爾效應(yīng)材料等)由于對稱性保護(hù)只能產(chǎn)生面內(nèi)橫向極化自旋,其角動量無法翻轉(zhuǎn)垂直磁化比特。尋找垂直有效磁場和垂直極化自旋的有效產(chǎn)生方法成為近年來的科技前沿?zé)狳c。
 
  中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所朱禮軍研究員課題組在2022年提出了利用器件構(gòu)型設(shè)計實現(xiàn)垂直自旋器件全電寫入的新方案(Applied Physics Reviews 2022: 9, 041401;中國專利申請?zhí)?02210803247.1),分別利用“L” 構(gòu)型和“C” 構(gòu)型實驗演示了巨大垂直各向異性Pt/FeTb器件的全電寫入,通過自旋扭矩鐵磁共振等手段,定量確定了其機(jī)制為非對稱器件構(gòu)型產(chǎn)生的垂直奧斯特磁場,打破了反演對稱性,實現(xiàn)了自旋比特的確定性翻轉(zhuǎn)。
 
  近日,朱禮軍課題組發(fā)現(xiàn):用Ta、Ir等取代非對稱構(gòu)型器件中的Pt作為自旋霍爾材料可以同時打破?xy和?xz鏡面對稱性,進(jìn)而在自旋霍爾材料中高效產(chǎn)生垂直極化自旋流,且其產(chǎn)生垂直自旋流的效率可與其產(chǎn)生面內(nèi)極化自旋流的效率相當(dāng)。基于該機(jī)制實驗演示了垂直磁隨機(jī)存儲器(p-MRAM)的核心結(jié)構(gòu)——Ta/FeCoB異質(zhì)結(jié)的全電翻轉(zhuǎn)(圖1),相較文獻(xiàn)中其他全電寫入方案總電流密度降低一個數(shù)量級。該方法無需單晶外延結(jié)構(gòu)或任何厚度/組分梯度,具有普適、高效、高翻轉(zhuǎn)比例且兼容磁控濺射和CMOS大規(guī)模集成的明顯優(yōu)勢,為全面突破垂直自旋器件的全電寫入難題提供了新的解決方案。
 
  該工作以“Efficient generation of out-of-plane polarized spin current in polycrystalline heavy metal devices with broken electric symmetries”為題發(fā)表在Advanced Materials(doi:10.1002/adma.202406552),朱禮軍研究員為通訊作者,半導(dǎo)體所劉前標(biāo)助理研究員和博士生林鑫為共同第一作者,中國科學(xué)院物理研究所于國強(qiáng)研究員參與了本工作并提供了部分實驗樣品。
 
  相關(guān)工作得到了科技部國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金委面上項目、北京市重點專題研究項目和中國科學(xué)院B類戰(zhàn)略先導(dǎo)專項等資助。
 
  圖1. 垂直各向異性Ta/FeCoB器件的全電翻轉(zhuǎn)。(a)傳統(tǒng)對稱構(gòu)型中無法實現(xiàn)電流翻轉(zhuǎn);(b)“C”構(gòu)型和(c)“L”構(gòu)型實現(xiàn)垂直極化自旋流驅(qū)動的高比例高能效全電翻轉(zhuǎn)。

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