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摘要我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模龐大,根據(jù)工信部公布數(shù)據(jù)顯示,2023年,我國(guó)集成電路產(chǎn)量為3514億塊,同比增長(zhǎng)6.9%。光刻是半導(dǎo)體芯片最關(guān)鍵的工藝環(huán)節(jié),光刻機(jī)不可或缺。

  【儀表網(wǎng) 市場(chǎng)行情】碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)是新一代高性能真空吸盤(pán)之一,可以廣泛應(yīng)用在礦山、冶金、化工、制藥、玻璃陶瓷、光伏、光學(xué)儀器、電子、半導(dǎo)體等領(lǐng)域,能夠滿(mǎn)足礦山等行業(yè)的抗磨損需求,冶金等行業(yè)的高溫需求,化工等行業(yè)的抗腐蝕需求,以及半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的精密加工與裝配需求。
 
  真空吸盤(pán)是一種重要的吸附工具,可以應(yīng)用在固定、搬運(yùn)、裝配等場(chǎng)景。傳統(tǒng)真空吸盤(pán)的耐磨損性、耐高溫性、耐腐蝕性存在一定局限,金屬吸盤(pán)還存在不防靜電的缺點(diǎn),在部分領(lǐng)域應(yīng)用受到限制。
 
  根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2024-2029年中國(guó)碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)行業(yè)細(xì)分市場(chǎng)需求及開(kāi)拓機(jī)會(huì)研究報(bào)告》顯示,碳化硅陶瓷具有密度小、硬度大、抗彎強(qiáng)度高、耐磨損、摩擦系數(shù)低、熱膨脹系數(shù)低、高溫強(qiáng)度大、導(dǎo)熱系數(shù)高、高溫抗氧化、耐腐蝕、絕緣等優(yōu)點(diǎn),是一種綜合性能優(yōu)異的先進(jìn)陶瓷材料,可用來(lái)制造適合苛刻環(huán)境下使用的真空吸盤(pán)。
 
  碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)采用多孔陶瓷,是碳化硅高溫?zé)g得到的多孔且孔徑均勻的陶瓷材料,經(jīng)研磨拋光后表面質(zhì)量高,可以應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域,用于硅晶圓、藍(lán)寶石晶圓、砷化鎵晶圓等制造領(lǐng)域,使用時(shí)給予負(fù)壓,將晶圓穩(wěn)固吸附于真空吸盤(pán)上,作為加持、承載工具,實(shí)現(xiàn)減薄、切割、清洗等操作。
 
  碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)的孔洞直徑細(xì)小,不會(huì)對(duì)晶圓表面造成劃傷;碳化硅陶瓷具有電阻率高、絕緣性好的特點(diǎn),制造真空吸盤(pán)可防止靜電損壞晶圓;碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)結(jié)構(gòu)致密、強(qiáng)度大、耐磨損,不易產(chǎn)生破裂、碎片等問(wèn)題;碳化硅陶瓷不易變形,真空吸盤(pán)可重復(fù)使用,使用壽命長(zhǎng)。
 
  根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2024-2029年中國(guó)光刻機(jī)用碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,光刻機(jī)零部件中包括多種陶瓷部件,例如工件臺(tái)、方鏡、真空吸盤(pán)、水冷盤(pán)等。碳化硅陶瓷可經(jīng)過(guò)精密加工用來(lái)制造這些陶瓷部件,成為理想選擇材料之一。但燒結(jié)結(jié)構(gòu)致密、大尺寸的碳化硅陶瓷難度較高,并且碳化硅陶瓷硬度大、脆性大,精密加工難度大,因此光刻機(jī)用碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)僅有日本京瓷Kyocera、美國(guó)CoorsTek等少數(shù)企業(yè)可以生產(chǎn)。
 
  我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模龐大,根據(jù)工信部公布數(shù)據(jù)顯示,2023年,我國(guó)集成電路產(chǎn)量為3514億塊,同比增長(zhǎng)6.9%。光刻是半導(dǎo)體芯片最關(guān)鍵的工藝環(huán)節(jié),光刻機(jī)不可或缺。在國(guó)際政治形勢(shì)多變背景下,為避免被卡脖子,我國(guó)光刻機(jī)自主研發(fā)生產(chǎn)步伐正在加速,光刻機(jī)用碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)開(kāi)發(fā)應(yīng)用潛力大。
 
  新思界行業(yè)分析人士表示,我國(guó)最新版《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2024年本)》中,將面向新一代光刻機(jī)用碳化硅陶瓷水冷真空吸盤(pán)(浸沒(méi)式)制備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用列為鼓勵(lì)類(lèi)項(xiàng)目。總的來(lái)看,我國(guó)碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)行業(yè)發(fā)展前景良好,特別是應(yīng)用在光刻機(jī)領(lǐng)域的高端產(chǎn)品發(fā)展前景廣闊。目前,我國(guó)光刻機(jī)用碳化硅陶瓷真空吸盤(pán)研發(fā)生產(chǎn)商主要有中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院、寧波伏爾肯科技股份有限公司等。

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