【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】經(jīng)專家審定通過，湖北省市場監(jiān)督管理局?jǐn)M批準(zhǔn)發(fā)布《集成電路測試系統(tǒng)加載板校準(zhǔn)規(guī)范》等33項(xiàng)湖北省計量技術(shù)規(guī)范，現(xiàn)將相關(guān)規(guī)范(具體名單及報批稿詳見附件)予以公示，如有不同意見，請于2024年4月15日前反饋省市場監(jiān)管局計量處，郵箱:609010401@qq.com。
| 擬發(fā)布湖北省地方計量技術(shù)規(guī)范名單 | ||
| 序號 | 主要起草單位 | 申報項(xiàng)目名稱 |
| 1 | 中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所 | 集成電路測試系統(tǒng)加載板校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 2 | 晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)方法（片上標(biāo)準(zhǔn)電阻法） | |
| 3 | 晶圓測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 4 | 氧化層膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 5 | 數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 6 | 200Mbps～4Gbps數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)時間參數(shù)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 7 | 線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 8 | 國防科技工業(yè)弱磁一級計量站 | 磁屏蔽室校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 9 | 中國船舶第719所 | 基于點(diǎn)源法的固定式X、г輻射監(jiān)測儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 10 | 湖北航天計量測試技術(shù)研究所 | 電子防潮柜濕度、溫度偏差校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 11 | 固體運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)控制裝置校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 12 | 蔡恩杯粘度計校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 13 | 武漢地震計量檢定與測量工程中心 | 地磁經(jīng)緯儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 14 | 垂線觀測儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 15 | 影像測量RTK接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 16 | 襄陽航泰動力機(jī)器廠 | 萬能分度頭校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 17 | 湖北省計量測試技術(shù)研究院 | 毛細(xì)管塞式比重瓶校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 18 | 加壓流體萃取儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 19 | 遮陽系數(shù)測定儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 20 | 鉆孔電視成像儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 21 | 罐內(nèi)涂膜完整性測試儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 22 | 雷擊計數(shù)器校驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 23 | 管線金屬定位儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 24 | 真耳分析儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 25 | 電梯綜合測試儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 26 | 武漢市計量測試檢定（研究）所 | 建筑幕墻物理性能檢測裝置校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 27 | 十堰市計量檢定測試所 | 低溫保存箱校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 28 | 湖北省生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心站 | 氣相分子吸收光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 29 | 宜昌市計量所 | 分散控制系統(tǒng)/可編程邏輯控制器（模擬信號輸入）校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 30 | 湖北交投智能檢測股份有限公司 | 瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 31 | 武漢地震計量檢定與測量工程中心 | 監(jiān)測型GNSS接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 32 | 湖北省計量測試技術(shù)研究院 | 聲學(xué)和振動數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 33 | 大變形引伸計校準(zhǔn)規(guī)范 | |
《磁屏蔽室校準(zhǔn)規(guī)范》
磁屏蔽室是由高導(dǎo)磁材料(坡莫合金、硅鋼等)制作成閉合的腔體。外部干擾磁場的磁通量絕大部分會沿著高導(dǎo)磁材料制成的腔體壁通過，進(jìn)入腔體內(nèi)部的磁通量很少，這樣就在腔體內(nèi)部一定范圍內(nèi)形成近零磁空間，用于屏蔽恒定磁場及交變磁場。磁屏蔽室按照材料分類主要有坡莫合金磁屏蔽室、硅鋼磁屏蔽室、純鐵磁屏蔽室及各種材料相互組合建造的磁屏蔽室。磁屏蔽室一般有長方體、近似球體或橢球體等形狀。
本規(guī)范依據(jù)國家計量技術(shù)規(guī)范JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、 JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范是首次制定的湖北省計量校準(zhǔn)規(guī)范。本規(guī)范適用于對新制造的、新購置的、使用中和修理后的最大屏蔽系數(shù)不超過120dB(不大于1kHz)磁屏蔽室的校準(zhǔn)。屏蔽系數(shù)大于120dB、頻率1kHz～100kHz的屏蔽室的校準(zhǔn)可參照執(zhí)行。
《瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范》
瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀是用于測定瀝青混合料高溫抗車轍能力的專用設(shè)備，根據(jù)效率功能分為單路、多路兩種類型，工作原理是在規(guī)定溫度條件下，車轍儀控制車轍試驗(yàn)機(jī)的試驗(yàn)輪給試件加載一定荷載，測定試件在試驗(yàn)輪往返行走一定次數(shù)情況下所形成的車轍變形速率。車轍儀由車轍試驗(yàn)機(jī)和恒溫室組成，其中車轍試驗(yàn)機(jī)包括試驗(yàn)輪、試驗(yàn)輪支架、滑動板、加載裝置、配重、立柱、位移傳感器、曲柄連桿、運(yùn)行導(dǎo)軌、變速器、試驗(yàn)臺等。恒溫室包括保溫層、溫度控制傳感器、溫度循環(huán)系統(tǒng)等。車轍儀(多路)包含多個車轍試驗(yàn)機(jī)，多個車轍試驗(yàn)機(jī)為聯(lián)動結(jié)構(gòu)，可同時進(jìn)行多組車轍試驗(yàn)。
JJF 1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀的校準(zhǔn)，其他類似的瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀可以參照本規(guī)范校準(zhǔn)。
《氣相分子吸收光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范》
氣相分子吸收光譜儀是采用氣相分子吸收光譜法進(jìn)行定量分析的儀器。其工作原理基于朗伯-比爾定律：將被測組分通過化學(xué)反應(yīng)轉(zhuǎn)化為氣體(如分析氨氮時將被測組分氧化為亞硝酸鹽氮后再轉(zhuǎn)化為二氧化氮)，該氣體接受特定波長的光輻射產(chǎn)生相應(yīng)的分子振動吸收，在一定范圍內(nèi)對光的吸收程度與其濃度成正比，計算得出被測組分的含量。
氣相分子吸收光譜儀主要由進(jìn)樣單元、反應(yīng)單元、氣體吸收池、光電檢測單元和數(shù)據(jù)處理單元組成。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》和JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范主要參考了GB/T 42027—2022《氣相分子吸收光譜儀》的相關(guān)內(nèi)容。
本規(guī)范系首次發(fā)布。本規(guī)范適用氣相分子吸收光譜儀的校準(zhǔn)。
《蔡恩杯黏度計校準(zhǔn)規(guī)范》
蔡恩杯黏度計為流出型黏度計，主要用于實(shí)驗(yàn)室，車間等環(huán)境下，快速測量黏度或調(diào)節(jié)多種不同流體的黏度。其工作原理是利用試樣在自身重力的作用下產(chǎn)生流動，以一定量的試樣在一定的溫度下從黏度計中流出的時間來描述試樣的黏度。它為圓柱形、球形底，配有較長提手，按其底部開有的小孔的尺寸分為5個型號，合成一套，分別測量不同黏度的產(chǎn)品，測定的范圍為(5～1800)mm2/s。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于蔡恩杯黏度計的校準(zhǔn)。
《電子防潮柜濕度、溫度偏差校準(zhǔn)規(guī)范》
電子防潮柜的工作原理主要是利用化學(xué)高分子吸濕、半導(dǎo)體冷凝吸濕和氮?dú)獬凉竦确绞剑狗莱惫駜?nèi)濕度降低，通過控制器將防潮柜濕度穩(wěn)定在設(shè)定的濕度值。電子防潮柜廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、細(xì)小料粒產(chǎn)品、藥材，矽圓晶片、液晶玻璃基片、光學(xué)膠片及鏡片、石英振動器、精密儀器儀表等貯存。根據(jù)濕度范圍，分為中濕段、低濕段和超低濕段。中濕段一般控制不潮濕，相對濕度能達(dá)到30%，低濕段控制在20%以下，超低濕則可以達(dá)到10%以下。
電子防潮柜除濕度可調(diào)外，溫度控制有不可調(diào)和可調(diào)兩種控制方式。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、JJF 1101—2019《環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備溫度、濕度參數(shù)校準(zhǔn)規(guī)范》、GB/T 5170.1—2016《電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備檢驗(yàn)方法總則》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于濕度范圍(5～60)%RH、溫度范圍(10～35)℃的電子防潮柜濕度、溫度偏差的校準(zhǔn)。
《運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)檢測裝置校準(zhǔn)規(guī)范》
檢測裝置主要用于對運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)的前罩拋罩、后罩解鎖、后罩分離進(jìn)行功能測試。檢測裝置主要通過電磁閥控制前后罩氣缸的工作狀態(tài)，檢測前罩拋罩、后罩解鎖、后罩分離等功能是否正常，并通過檢測壓力傳感器的氣壓值判定管路工作氣壓是否符合要求。檢測裝置主要由單片機(jī)控制板、參數(shù)設(shè)置板、輸出控制板、顯示驅(qū)動板四塊集成電路板組成。
JJF1071《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)檢測裝置的校準(zhǔn)。
《基于點(diǎn)源法的固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀校準(zhǔn)規(guī)范》
固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀由輻射探測器、前置放大器、數(shù)字信號處理系統(tǒng)和顯示裝置等組成，通常需外接電源，由電纜連接組成一個整體。X、γ射線與輻射探測器發(fā)生相互作用，轉(zhuǎn)化為電信號經(jīng)前置放大器與數(shù)字信號處理系統(tǒng)進(jìn)行放大和整形等處理后由顯示裝置進(jìn)行顯示。固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀大量應(yīng)用于核軍工、核電廠、輻射監(jiān)測站、輻照加工場、放射醫(yī)療等場所的輻射水平監(jiān)測。
JJF 1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范技術(shù)內(nèi)容確定主要參考 GB/T 14054—2013《輻射防護(hù)儀器 能量在50keV~7MeV 的 X 和 γ 輻射固定式劑量率儀、報警裝置和監(jiān)測儀 》 、GB/T4835.1-2012《輻射防護(hù)儀器β、X 和γ輻射周圍和/或定向劑量當(dāng)量(率)儀和/或監(jiān)測儀 第 1 部分：便攜式工作場所和環(huán)境測量儀與監(jiān)測儀》、 GB/T 10253-2012《液態(tài)排出流和地表水中放射性核素監(jiān)測設(shè)備》、JJF 1733-2018 《固定式環(huán)境γ輻射空氣比釋動能(率)儀現(xiàn)場校準(zhǔn)規(guī)范》、JJF(鄂)75-2021 《固定式 X、γ劑量當(dāng)量(率)儀和監(jiān)測儀校準(zhǔn)規(guī)范》等制訂而成。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于使用點(diǎn)源法對固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀開展的現(xiàn)場校準(zhǔn)，使用點(diǎn)源產(chǎn)生的輻射輻參考值應(yīng)包含在固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀的測量范圍內(nèi)。本規(guī)范不適用于便攜式 X、γ輻射劑量當(dāng)量率儀和 X、γ輻射空氣比釋動能率儀的校準(zhǔn)。
《聲學(xué)和振動數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器校準(zhǔn)規(guī)范》
聲學(xué)和振動數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器由模擬電信號轉(zhuǎn)數(shù)字信號和數(shù)字信號轉(zhuǎn)模擬信號的硬件與控制軟件組成，是實(shí)現(xiàn)聲學(xué)和振動數(shù)字測量的核心設(shè)備。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換特性是聲學(xué)振動測試中關(guān)鍵的基礎(chǔ)指標(biāo)。聲學(xué)和振動數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器主要具有兩個核心功能: 數(shù)模轉(zhuǎn)換功能——實(shí)現(xiàn)信號發(fā)生器、音頻播放器等設(shè)備的模擬信號輸出，涉及相關(guān)功能描述時簡稱為數(shù)模轉(zhuǎn)換器。模數(shù)轉(zhuǎn)換功能——實(shí)現(xiàn)對信號的檢測、測試和分析等功能，涉及相關(guān)功能描述時簡稱為模數(shù)轉(zhuǎn)換器。
JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度的評定與表示》共同構(gòu)成制定本校準(zhǔn)規(guī)范的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。規(guī)范部分主要計量特性參照《IEEE Std 1241TM-2010 IEEE Standard for Terminology and Test Methods for Analog-to-Digital Converters》中聲學(xué)和頻譜分析應(yīng)用場景的關(guān)鍵參數(shù)。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于 0.01 Hz~200 kHz 聲學(xué)和振動數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器的校準(zhǔn)。
《真耳分析儀校準(zhǔn)規(guī)范》
真耳分析儀主要功能是在外耳道中測量近鼓膜處聲壓級，分析各種聲信號傳入人耳的響應(yīng)變化，可用于人的聽力輔助診斷、助聽器驗(yàn)配、耳機(jī)降噪等特性測試。真耳分析儀主要由聲源、探管傳聲器、參考傳聲器以及數(shù)據(jù)處理模塊組成，工作頻率范圍一般為(125～8000)Hz。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于真耳分析儀校準(zhǔn)。有真耳分析功能的儀器可以參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《罐內(nèi)涂膜完整性測試儀校準(zhǔn)規(guī)范》
內(nèi)涂膜測試儀是金屬包裝行業(yè)的常用儀器，主要用于空罐內(nèi)涂膜完整性檢測，通過測定電流值反映涂膜的完整性、內(nèi)涂膜致密性。
內(nèi)涂膜測試儀由主機(jī)和配套夾具組成，夾具配備兩個電極。主機(jī)由電壓源和電流表兩部分組成。工作時，被測罐內(nèi)加特定電解溶液，兩個電極分別接罐體和溶液。電壓源在兩個電極之間提供一個穩(wěn)定的直流電壓，兩個電極分別與電解溶液和罐體外壁接觸形成電流通路。電流表測量實(shí)時電流值。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于罐內(nèi)涂膜完整性測試儀的校準(zhǔn)，其他具有類似原理的內(nèi)涂膜測試儀和蓋涂膜測試儀也可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《大變形引伸計校準(zhǔn)規(guī)范》
引伸計是試驗(yàn)機(jī)對試樣施加軸向力時，測量試樣線變形的裝置，包括測量、指示或記錄系統(tǒng)。接觸式引伸計，如電阻應(yīng)變式、電感式引伸計、機(jī)械電子式引伸計等。
本規(guī)范的大變形引伸計(以下簡稱引伸計)主要用于測量非金屬及形變量很大的塑性材料，一般來說，引伸計主要由光電編碼器+滑輪組、夾持臂固定座、上夾持臂、下夾持臂、導(dǎo)向桿、滑動套和控制器等組成。
本規(guī)范根據(jù)JJF 1071《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1《測量不確定度評定與表示》規(guī)定的規(guī)則編寫。
本規(guī)范在制定過程中充分考慮了GB/T 1040.1《塑料 拉伸性能的測定 第1部分：總則》、ISO 9513《金屬材料 單軸試驗(yàn)用引伸計的校準(zhǔn)》(Metallic materials-Calibration extensometers in uniaxial testing)和ASTM E83《引伸計系統(tǒng)的標(biāo)定與分級系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)方法》(Standard Practice for Verification and Classification of Extensometer System) 等有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語、符號與定義，以及相關(guān)的技術(shù)要求、技術(shù)指標(biāo)和測試方法。本規(guī)范給出了大變形引伸計計量特性的具體校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法。
本規(guī)范系首次發(fā)布。本規(guī)范適用于最大變形量不小于100mm的接觸式大變形引伸計的校準(zhǔn)。其他測量原理類似的大變形引伸計可參照本規(guī)范執(zhí)行。
《電梯綜合測試儀校準(zhǔn)規(guī)范》
電梯綜合測試儀是用于測量涉及電梯乘運(yùn)質(zhì)量的振動和噪聲信號的設(shè)備。通過傳感器測量電梯轎廂的振動信號和噪聲信號，得到電梯運(yùn)行的加速度、噪聲等量值。測試儀由測量三個正交坐標(biāo)軸加速度的傳感器、測量聲壓級的傳感器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。
JJF1001-2011 《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》、JJF1094-2002 《測量儀器特性評定》及JJF1071-2010 《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范主要參考GB/T 7024-2008《電梯、自動扶梯、自動人行道術(shù)語》、GB/T 10058-2009《電梯技術(shù)條件》、GB/T 10059-2009《電梯試驗(yàn)方法》以及GB/T 24474.1-2020《乘運(yùn)質(zhì)量測量 第1部分：電梯》等編制而成。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于對電梯綜合測試儀的校準(zhǔn)，其他原理類似的儀器可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《管線金屬定位儀校準(zhǔn)規(guī)范》
管線金屬定位儀一般由發(fā)射機(jī)、接收機(jī)及其他輔助配件組成，發(fā)射機(jī)通過感應(yīng)、直接、夾鉗等方式向金屬管線施加特定幅頻特性的激勵信號，接收機(jī)可在金屬管線上方探測到響應(yīng)信號，通過分析判定管線或缺陷位置?？捎糜陔娏?、自來水、燃?xì)獾冉饘佥斔凸芫€或敷設(shè)金屬示蹤線的水管、光纖、塑料燃?xì)夤艿鹊亩ㄎ弧?br />
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012 《測量不確定度評定與表示》等共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于管線金屬定位儀的校準(zhǔn)，其他原理類似的檢測設(shè)備可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《加壓流體萃取儀校準(zhǔn)規(guī)范》
加壓流體萃取儀是一款用于從固體或半固體樣品中快速萃取、分離待萃取成分的自動化樣品前處理儀器，主要用于環(huán)境監(jiān)測，農(nóng)產(chǎn)品和食品檢測，制藥，石化，聚合物工業(yè)等領(lǐng)域。其主要工作原理是通過升高萃取過程中的溫度和壓力，增加樣品中待萃取成分的溶解度和擴(kuò)散效率，從而實(shí)現(xiàn)待萃取成分的高效分離。該類儀器的主要組成部分一般包括：數(shù)字溫控模塊、溶劑注入模塊、萃取池、溶劑回收模塊，儀器結(jié)構(gòu)圖見下圖1。依據(jù)儀器是否能夠?qū)崿F(xiàn)自動、連續(xù)萃取多個樣品，以及是否具有額外的樣品處理功能，可細(xì)分為半自動型、全自動型和多功能型。
本規(guī)范依據(jù)JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》和JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》的規(guī)定編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于半自動型、全自動型、多功能型加壓流體萃取儀的校準(zhǔn)。
《雷擊計數(shù)器校驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范》
雷擊計數(shù)器校驗(yàn)儀(簡稱校驗(yàn)儀)是校驗(yàn)雷擊計數(shù)器的一種儀器。校驗(yàn)儀在雷擊計數(shù)器兩端輸入模擬雷電沖擊電壓，使雷擊計數(shù)器工作。通過雷擊計數(shù)器動作次數(shù)，判斷雷擊計數(shù)器動作的可靠性。
其硬件上主要由試驗(yàn)變壓器、整流二極管、充電電阻、充電電容、按鍵操作單元等組成。具有工頻電流校驗(yàn)功能的計數(shù)器校驗(yàn)儀還由工頻逆變單元、工頻升壓變壓器、電流調(diào)整單元等部分組成。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》等共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于輸出峰值電壓不高于5kV雷擊計數(shù)器校驗(yàn)儀的校準(zhǔn)，也適用于具有相同原理的儀表的校準(zhǔn)。
《毛細(xì)管塞比重瓶校準(zhǔn)規(guī)范》
毛細(xì)管塞比重瓶是一種量入式玻璃量器，通常采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃制成，常用于測定原油和石油產(chǎn)品的密度。其原理是通過比較相同體積的試樣和水的質(zhì)量來確定密度。毛細(xì)管塞比重瓶常見型式為防護(hù)帽型、蓋-盧塞克型、廣口型。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范參考了 JJG 196—2006《常用玻璃量器檢定規(guī)程》、GB/T 6682—2008 《分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法》、GB/T 13377—2010《原油和液體或固體石油產(chǎn)品 密度或相對密度的測定 毛細(xì)管塞比重瓶和帶刻度雙毛細(xì)管比重瓶法》、ISO3507—1999《實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿—比重瓶》文件中相關(guān)術(shù)語、技術(shù)指標(biāo)、測量方法等內(nèi)容。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于測量范圍(1～100)mL 的玻璃毛細(xì)管塞比重瓶的校準(zhǔn)。其他容量的玻璃毛細(xì)管塞比重瓶也可參照本規(guī)范校準(zhǔn)。
《遮陽系數(shù)測定儀校準(zhǔn)規(guī)范》
遮陽系數(shù)測定儀是根據(jù)玻璃的分子對紫外、可見、近紅外區(qū)輻射光的選擇性吸收和反射，與太陽光輻射相對光譜分布和波長間隔的加權(quán)函數(shù)，得到太陽光的直接透射比、直接反射比這兩個基本指標(biāo)，然后根據(jù)這兩個基本指標(biāo)，計算出太陽光的直接吸收比、二次熱傳遞系數(shù)、太陽能總透射比，最后計算出玻璃構(gòu)件的遮陽系數(shù)，從而對樣品進(jìn)行定量分析和定性判別。
遮陽系數(shù)測定儀主要由光源、單色器、樣品積分球、檢測器、信號處理和顯示與存儲系統(tǒng)組成。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1032—2005《光學(xué)輻射計量名詞術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范參考 GB/T 2680—2021《建筑玻璃可見光透射比、太陽光直接透射比、太陽能總透射比、紫外線透射比及有關(guān)窗玻璃參數(shù)的測定》制定。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于對窗玻璃及玻璃幕墻等建筑玻璃的遮陽系數(shù)進(jìn)行測定的遮陽系數(shù)測定儀的校準(zhǔn)。
《鉆孔電視成像儀校準(zhǔn)規(guī)范》
鉆孔電視成像儀是運(yùn)用電視成像技術(shù)，探測鉆孔、管道內(nèi)壁狀態(tài)的儀器，廣泛應(yīng)用在工程地質(zhì)、水文地質(zhì)、地質(zhì)找礦、巖土工程、礦山等領(lǐng)域。鉆孔電視成像儀主要由主機(jī)、探頭、線纜絞車、滑輪和深度計數(shù)器組成。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1034—2020《聲學(xué)計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012 《測量不確定度評定與表示》等共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于鉆孔電視成像儀的校準(zhǔn)，鉆孔全景數(shù)字成像儀、鉆孔成像分析儀等其他類似的儀器也可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《低溫保存箱校準(zhǔn)規(guī)范》
低溫箱是對箱內(nèi)溫度可控制在(-25～-164)℃溫度區(qū)間內(nèi)，用消耗電能的手段來制冷，具有適當(dāng)容積和裝置的絕熱箱的總稱。低溫箱按門或蓋的打開方式可分為頂開式(臥式)和直立式(立式)；按特性點(diǎn)溫度可分為：-25℃、-30℃、-40℃、-50℃、-60℃、-86℃、-140℃、-150℃、-164℃類型。低溫箱主要用于在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)對放入其中的物品進(jìn)行可靠的儲藏，廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、生物制藥、食品飲料、農(nóng)業(yè)畜牧、化工、軍工、科學(xué)研究等領(lǐng)域。
JJF 1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制修訂工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范參照 GB/T 20154-2014《低溫保存箱》、YY/T 1757-2021《醫(yī)用冷凍保存箱》中規(guī)定的相關(guān)術(shù)語定義和技術(shù)內(nèi)容。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于溫度范圍(-25～-164)℃，采用封閉式電動機(jī)驅(qū)動壓縮式低溫保存箱計量性能的校準(zhǔn)。
《影像測量RTK接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》
影像測量RTK接收機(jī)是具備攝影測量功能的RTK接收機(jī)，由全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng)(Global Navigation Satellite System，GNSS)天線、板卡、慣性測量單元(Inertial Measurement Unit，IMU)、影像測量傳感器等部分組成。接收機(jī)采用GNSS和IMU組合測量，可獲取接收機(jī)的位置與姿態(tài)，結(jié)合影像測量傳感器可獲取多張影像，并根據(jù)交會測量得到影像中目標(biāo)點(diǎn)的坐標(biāo)，也可根據(jù)位置與姿態(tài)信息將放樣點(diǎn)的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換到影像坐標(biāo)系下虛擬顯示，進(jìn)行影像放樣，或在接收機(jī)傾斜狀態(tài)下對當(dāng)前姿態(tài)進(jìn)行補(bǔ)償，獲取測量桿尖的坐標(biāo)。
影像測量RTK接收機(jī)廣泛應(yīng)用于工程測量領(lǐng)域，如土地勘測、建筑施工、道路建設(shè)、水利水電工程等，特別是遮擋、障礙等復(fù)雜、危險場景下的非接觸式測量，以及建筑物的三維測量與建模。
JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》和JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于影像測量RTK(real-time kinematic survey)接收機(jī)的校準(zhǔn)，以及其他具有傾斜測量或斷點(diǎn)續(xù)測功能的RTK接收機(jī)的校準(zhǔn)。
《監(jiān)測型 GNSS 接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》
監(jiān)測型 GNSS 接收機(jī)，是一種固定在待監(jiān)測點(diǎn)上連續(xù)運(yùn)行的 GNSS 終端設(shè)備，采用偽距和載波相位觀測值進(jìn)行相對定位，給出實(shí)時或準(zhǔn)實(shí)時位移量，主要用于大壩、邊坡、礦山、建筑、橋梁、鐵路等安全監(jiān)測領(lǐng)域。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、JJF1059.2—2012《用蒙特卡洛法評定測量不確定度》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于監(jiān)測型 GNSS 接收機(jī)的校準(zhǔn)。
《地磁經(jīng)緯儀校準(zhǔn)規(guī)范》
地磁經(jīng)緯儀，也稱DI儀，主要由無磁經(jīng)緯儀、磁通門傳感器、磁通門磁強(qiáng)計主機(jī)、線纜四部分組成，用于地磁場絕對方向的測量。地磁經(jīng)緯儀的磁通門傳感器在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)至示值為零時，敏感軸與磁場方向垂直，結(jié)合望遠(yuǎn)鏡和水平度盤測量目標(biāo)方向與磁北方向夾角，即目標(biāo)的磁方位角；地磁經(jīng)緯儀的磁通門傳感器在地磁場方向所在的鉛垂面內(nèi)旋轉(zhuǎn)至示值為零時，通過豎直度盤讀數(shù)計算得到磁傾角。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本校準(zhǔn)規(guī)范適用于地磁經(jīng)緯儀的校準(zhǔn)。
《垂線觀測儀校準(zhǔn)規(guī)范》
垂線觀測儀是一種用于測量正、倒垂線裝置的儀器，主要應(yīng)用于水利水電大壩、船閘、高層建筑物等大型工程的變形監(jiān)測，也稱為垂線坐標(biāo)儀。常見的垂線儀主要有光學(xué)和光電式等類型。
光學(xué)垂線儀工作時，通過橫、縱導(dǎo)軌移動照準(zhǔn)部，使得照準(zhǔn)光路對準(zhǔn)被測垂線，并利用測微手輪讀取相應(yīng)橫、縱軸坐標(biāo)；光電式垂線儀利用平行光使垂線產(chǎn)生的陰影投射到CCD傳感器上，再通過圖像處理分析得到垂線投影的坐標(biāo)。
JJF 1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于光學(xué)和光電式垂線觀測儀(垂線坐標(biāo)儀)的校準(zhǔn)，其他類型垂線觀測儀的校準(zhǔn)可以參照執(zhí)行。
《建筑幕墻物理性能檢測裝置校準(zhǔn)規(guī)范》
幕墻檢測裝置是通過預(yù)定的程序作用于被檢建筑幕墻試件，從而測量建筑幕墻的氣密、水密、抗風(fēng)壓和層間位移性能的設(shè)備。
幕墻檢測裝置由壓力箱、安裝橫架、供壓裝置(包括供風(fēng)設(shè)備、壓力控制裝置)、淋水裝置、測量裝置(包括差壓計、空氣流量測量裝置、水流量測量裝置及位移測量裝置)及靜力加載裝置組成。
本規(guī)范以JJF 1071《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001《通用計量術(shù)語及定義》及JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》作為基礎(chǔ)性系列規(guī)范進(jìn)行制定。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于建筑幕墻物理性能檢測裝置的校準(zhǔn)。
《萬能分度頭校準(zhǔn)規(guī)范》
萬能分度頭一般是蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，其傳動比為1/40，手輪轉(zhuǎn)動一周為9°。萬能分度頭帶有刻度環(huán)，刻度環(huán)每小格為1′，分度游標(biāo)每小刻為10″。
JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》和JJF1094-2002《測量儀器特性評定》共同構(gòu)成本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于蝸輪蝸桿傳動、傳動比為1/40、主要采用簡單分度方式來實(shí)現(xiàn)工件分度的萬能分度頭的校準(zhǔn)。其他分度方式的萬能分度頭可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《分散控制系統(tǒng)/可編程邏輯控制器(模擬信號輸入)校準(zhǔn)規(guī)范》
DCS，是一種基于計算機(jī)通信的自動化控制系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于電力、冶金、石化等各行各業(yè)。其主要由控制單元(包括通訊模塊、控制器模塊、I/O 連接模塊和各種信號輸入輸出模塊)、操作單元(包括操作站、服務(wù)器等人機(jī)會話接口站點(diǎn))、通信網(wǎng)絡(luò)(包括 I/O 總線、網(wǎng)絡(luò))和供電單元組成(如圖 1)?，F(xiàn)場信號經(jīng)控制單元通過 I/O總線上行至操作單元，經(jīng)數(shù)據(jù)處理后形成相應(yīng)控制信號，再通過 I/O 總線下行至控制。
PLC，是種專門為在工業(yè)環(huán)境下應(yīng)用而設(shè)計的數(shù)字運(yùn)算操作電子系統(tǒng)，用來在其內(nèi)部存儲執(zhí)行邏輯運(yùn)算、順序控制、定時、計數(shù)和算術(shù)運(yùn)算等操作的指令，并通過數(shù)字式、模擬式的輸入和輸出，控制各種類型的機(jī)械或生產(chǎn)過程。主要由微處理器、通訊及編程接口、系統(tǒng)存儲器、用戶存儲器、I/O 擴(kuò)展接口、輸入部件和輸出部件組成。
本規(guī)范依據(jù)國家計量技術(shù)規(guī)范 JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于模擬信號輸入的分散控制系統(tǒng)(Distributed Control System，DCS)以及可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)的校準(zhǔn)。
《200Mbps～4Gbps數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)時間參數(shù)校準(zhǔn)規(guī)范》
數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)用于對數(shù)字集成電路進(jìn)行技術(shù)指標(biāo)參數(shù)測試，主要可分為直流參數(shù)(DC參數(shù)，也稱為電學(xué)參數(shù))測試和交流參數(shù)(AC參數(shù)，也稱時間參數(shù)，以下均稱時間參數(shù))測試。時間參數(shù)測試主要涉及的關(guān)鍵部件包括數(shù)字通道和時間測量單元等兩類硬件部分，其中關(guān)系到集成電路測試結(jié)果準(zhǔn)確與否的關(guān)鍵參數(shù)包括：數(shù)字通道測量傳輸延遲時間準(zhǔn)確度，數(shù)字通道同步偏差時間，數(shù)字通道方波信號時間間隔準(zhǔn)確度，時間測量單元時間間隔測量準(zhǔn)確度等4個方面。
數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)是集成電路測試的主要設(shè)備，在測試接口板上外圍電路的配合下形成完善的測試環(huán)境，按照被測集成電路數(shù)據(jù)手冊的要求執(zhí)行相應(yīng)的電氣指標(biāo)測試項(xiàng)，測試結(jié)果是判定高速集成電路能否滿足使用要求的重要判據(jù)。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于測試速率在200Mbps~4Gbps之間的單端信號(非差分)模式下，數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)(Digital Integrated Circuit Testing System)的時間參數(shù)校準(zhǔn)。
《集成電路測試系統(tǒng)加載板校準(zhǔn)規(guī)范》
加載板能夠?qū)崿F(xiàn)集成電路測試系統(tǒng)輸入/輸出端口與被測集成電路的輸入/輸出引腳之間的互連，也能作為計量標(biāo)準(zhǔn)裝置與被校準(zhǔn)集成電路測試系統(tǒng)信息交互。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于集成電路測試系統(tǒng)加載板的校準(zhǔn)，也可用于新制備的加載板交付和驗(yàn)收時的性能驗(yàn)證。
《晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范(片上標(biāo)準(zhǔn)電阻法)》
晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)主要通過測試晶圓表面電阻并計算電阻率進(jìn)而推算晶圓加工過程中的工藝參數(shù)，比如刻蝕厚度和寬度、金相沉積的寬度和厚度等加工特性。是集成電路加工過程中的最重要的工藝控制手段之一。片上標(biāo)準(zhǔn)電阻通過將已經(jīng)溯源的標(biāo)準(zhǔn)電阻值復(fù)現(xiàn)在晶圓片上，晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)自動測試晶圓上的標(biāo)準(zhǔn)電阻進(jìn)而實(shí)現(xiàn)量值的溯源，達(dá)到對晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)的目的。
片上標(biāo)準(zhǔn)電阻復(fù)現(xiàn)常用的標(biāo)準(zhǔn)電阻值在晶圓片上，晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)通過其探針直接測量晶圓片上的標(biāo)準(zhǔn)電阻值，并與標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行對比，實(shí)現(xiàn)對晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于新購進(jìn)、使用中、修理后的晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
《晶圓測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》
晶圓測試系統(tǒng)，用于對數(shù)字電路、模擬電路、混合信號電路等各類刻蝕好的集成電路裸晶圓片進(jìn)行測試的能力。在集成電路生產(chǎn)測試、驗(yàn)證測試、性能測試、工藝改進(jìn)、測試技術(shù)研究等方面有著廣泛應(yīng)用。
晶圓測試系統(tǒng)包括對功能及參數(shù)的各類測量單元、控制晶圓片進(jìn)給以及傳輸測量信號的探針臺。晶圓片放置于探針臺的承片臺上通過探針與測量單元聯(lián)接，通過測試程序控制測量單元及探針臺，完成對晶圓片的功能及參數(shù)測試。因此，通過對集成電路測量單元與探針臺位移單元的校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
晶圓測試系統(tǒng)根據(jù)不同型號，由不同的模塊單元組成，主要包括各類集成電路測量單元與自動程度不同的各型探針臺。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF 1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》。本規(guī)范適用于新購進(jìn)、使用中、修理后的晶圓測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
《氧化層膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范》
膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片是針對集成電路工藝參數(shù)測量設(shè)備，通過復(fù)現(xiàn)集成電路關(guān)鍵尺寸量值，通過橢偏儀進(jìn)行測量，在實(shí)際工作狀態(tài)下對橢偏儀完成校準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)樣片是具備一個或多個典型值的專用標(biāo)準(zhǔn)樣品，通過校準(zhǔn)后主要用于橢偏儀的校準(zhǔn)、實(shí)驗(yàn)室比對和能力驗(yàn)證等。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范規(guī)定了厚度在10nm~1000nm之間的氧化層膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片的校準(zhǔn)。
《數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范》
數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片是已確定一種或多種參數(shù)的專用集成電路，以標(biāo)準(zhǔn)樣片為計量標(biāo)準(zhǔn)器，通過復(fù)現(xiàn)數(shù)字集成電路參數(shù)的量值對測試系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，其校準(zhǔn)結(jié)果反映了被校準(zhǔn)測試系統(tǒng)在實(shí)測工況下的綜合測量狀態(tài)。標(biāo)準(zhǔn)樣片的特性參數(shù)通過校準(zhǔn)后主要用于數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)、實(shí)驗(yàn)室比對和能力驗(yàn)證等。
標(biāo)準(zhǔn)樣片的管腳定義如圖1所示，一般采用標(biāo)準(zhǔn)的雙列直插式封裝，管腳包括電源、地、控制、輸入、輸出等管腳，其工作時數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)對其電源、地、控制管腳根據(jù)具體參數(shù)施加相應(yīng)的信號，使標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)入該參數(shù)的工作狀態(tài)后，控制測試系統(tǒng)對標(biāo)準(zhǔn)樣片輸入、輸出管腳施加/測量對應(yīng)參數(shù)即可得到該參數(shù)的測量值。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于對數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片的校準(zhǔn)。
《線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范》
線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片是針對集成電路工藝參數(shù)測量設(shè)備，通過復(fù)現(xiàn)集成電路關(guān)鍵尺寸量值，通過掃描電子顯微鏡進(jìn)行測量，在實(shí)際工作狀態(tài)下對掃描電子顯微鏡完成校準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)樣片是具備一個或多個典型值的專用標(biāo)準(zhǔn)樣品，用于線寬測量儀器的校準(zhǔn)。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于線寬在100nm~10μm之間的線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片線寬的校準(zhǔn)。
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