【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)下發(fā)的中儀協(xié)[2023]14號(hào)文件，《固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀》和《納米薄膜材料力學(xué)試驗(yàn) 壓痕彈性模量測(cè)試規(guī)范》被列入2023年中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制定計(jì)劃項(xiàng)目，目前已完成兩項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的征求意見稿，現(xiàn)公開征求意見。請(qǐng)各位專家對(duì)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容提出建議和修改意見，于2024年4月7日前將《征求意見回執(zhí)表》反饋中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)試驗(yàn)儀器分會(huì)。郵箱：sactc122@163.com。
 

　　《固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀》
 

　　固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀綜合運(yùn)用低溫技術(shù)、納米壓入力學(xué)性能測(cè)試技術(shù)，可直接、準(zhǔn)確、快速的給出材料的低溫壓入力學(xué)性能，是一種實(shí)用的固體材料低溫納米壓入力學(xué)性能測(cè)試技術(shù)。使用固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀可對(duì)航天工業(yè)、極地科考、超導(dǎo)工程等關(guān)鍵核心領(lǐng)域的核心零部件材料力學(xué)性能進(jìn)行測(cè)試。我國對(duì)低溫納米力學(xué)測(cè)試產(chǎn)業(yè)給予了相當(dāng)?shù)闹匾?，開發(fā)低溫納米壓入測(cè)試儀己列入了國家國防科技工業(yè)局技術(shù)基礎(chǔ)科研項(xiàng)目并已獲批立項(xiàng)，在開發(fā)和研制低溫納米壓入測(cè)試儀系列產(chǎn)品的同期制定《固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀》是實(shí)施國防科技工業(yè)局技術(shù)基礎(chǔ)科研項(xiàng)目的重要工作內(nèi)容之一。該標(biāo)準(zhǔn)符合《國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃綱要》的戰(zhàn)略需求，符合《“十四五”推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》中重點(diǎn)領(lǐng)域—制造業(yè)高端化—材料—復(fù)合材料、超導(dǎo)材料等標(biāo)準(zhǔn)研制內(nèi)容。
 

　　本文件按照GB/T 1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
 

　　本文件規(guī)定了固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀的術(shù)語和定義、基本參數(shù)、一般要求、性能要求、裝配質(zhì)量、外觀要求、試驗(yàn)方法、裝配和外觀檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、運(yùn)輸?shù)纫?。本文件適用于低溫下測(cè)試材料壓痕硬度和材料參數(shù)試驗(yàn)的固體材料低溫納米壓入測(cè)試儀。
 

　　第3章 術(shù)語和定義參考國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 22458《儀器化納米壓入試驗(yàn)方法通則》。
 

　　第4章 試驗(yàn)裝置的主參數(shù)為試驗(yàn)溫度、壓入載荷、壓入深度以及試驗(yàn)循環(huán)時(shí)間并按此劃分試驗(yàn)裝置的規(guī)格。根據(jù)低溫納米壓入測(cè)試儀的實(shí)際情況，規(guī)定了儀器的“4.1環(huán)境與工作條件”、“4.2一般要求”、“4.3壓痕裝置”、“4.4低溫裝置”、“4.5測(cè)量系統(tǒng)”、“4.6試驗(yàn)循環(huán)時(shí)間”、“4.7安全保護(hù)”、“4.8耐運(yùn)輸顛簸性能”、“4.9電氣設(shè)備”。
 

　　第5章 試驗(yàn)裝置通過可溯源的激光測(cè)微儀、電子天平、原子力顯微鏡、溫度傳感器等設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)；通過電子秒表、顯微鏡、絕緣電阻測(cè)試儀、耐電壓測(cè)試儀、水平儀、校驗(yàn)棒、平壓頭等工具/設(shè)備進(jìn)行檢驗(yàn)。
 

　　檢驗(yàn)方法根據(jù)低溫納米壓入測(cè)試儀的實(shí)際實(shí)驗(yàn)流程，規(guī)定了“5.3一般要求的檢查”、“5.4壓痕裝置的檢驗(yàn)與校準(zhǔn)”、“5.5低溫裝置的檢驗(yàn)與校準(zhǔn)”、、“5.6測(cè)試系統(tǒng)的檢驗(yàn)”、“5.7試驗(yàn)循環(huán)時(shí)間的檢驗(yàn)”。
 

　　檢驗(yàn)方法根據(jù)實(shí)際使用需要，規(guī)定了“5.8安全保護(hù)的檢驗(yàn)”、“耐運(yùn)輸顛簸性能試驗(yàn)”、“電氣設(shè)備的檢驗(yàn)”等。
 

　　第6章 檢驗(yàn)規(guī)則，包含“6.1出廠檢驗(yàn)”、“6.2型式檢驗(yàn)”和“6.3判定規(guī)則”技術(shù)內(nèi)容。
 

　　第7章 標(biāo)志與包裝，規(guī)定了“標(biāo)志”、“包裝”的要求。
 

　　《納米薄膜材料力學(xué)試驗(yàn) 壓痕彈性模量測(cè)試規(guī)范》
 

　　隨著高端制造核心器件的微型化、智能化及集成化發(fā)展，納米薄膜材料在新興科學(xué)研究和生產(chǎn)應(yīng)用中貢獻(xiàn)日益增大，己成功在航空航天絕熱導(dǎo)電薄膜、電子通信半導(dǎo)體薄膜、微機(jī)電系統(tǒng)薄膜傳感器等特殊領(lǐng)域的關(guān)鍵零部件上得到了實(shí)際應(yīng)用。通過本文件的制定，可突破現(xiàn)有壓痕測(cè)試?yán)碚撫槍?duì)納米薄膜材料難以滿足經(jīng)典的10%臨界壓入深度準(zhǔn)則的技術(shù)局限性，解決現(xiàn)有納米薄膜測(cè)試難度大、測(cè)試精度低且對(duì)納米壓痕測(cè)試儀器要求高等問題，對(duì)于納米薄膜相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重大促進(jìn)作用，能夠?qū)崿F(xiàn)納米薄膜壓痕彈性模量測(cè)試的規(guī)范化應(yīng)用，以及推動(dòng)納米薄膜的工藝改進(jìn)和使用開發(fā)。
 

　　目前，針對(duì)目前納米薄膜材料壓痕力學(xué)性能測(cè)試手段缺乏，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)缺失，以及應(yīng)力應(yīng)變模式和機(jī)理分析不足的問題，開展納米薄膜材料力學(xué)特性測(cè)試技術(shù)研究已獲2018年度國防科工局“十三五”技術(shù)基礎(chǔ)科研項(xiàng)目立項(xiàng)，此次制定此測(cè)試規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)是實(shí)施技術(shù)基礎(chǔ)科研項(xiàng)目的重點(diǎn)工作內(nèi)容之一，符合《中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》和《“十四五”推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》戰(zhàn)略需求。本文件可使我國在國際上占領(lǐng)納米薄膜壓痕彈性模量測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)化制高點(diǎn)。該項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的制定將為國際國內(nèi)的不同尺度納米薄膜壓痕彈性模量的測(cè)試提供技術(shù)依據(jù)，有力規(guī)范我國各類型納米薄膜壓痕力學(xué)性能測(cè)試的條件、方法、結(jié)果評(píng)定等工作，拓寬納米壓痕測(cè)試儀的使用范圍。
 

　　本文件按照GB/T 1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
 

　　本文件規(guī)定了測(cè)試納米薄膜材料壓痕彈性模量的測(cè)試要求和測(cè)試方法。
 

　　本文件僅限于采用壓頭對(duì)試樣表面進(jìn)行垂直壓入的壓痕測(cè)試，適用于附著在基底材料表面厚度已知、性質(zhì)均勻的單層納米薄膜。
 

　　第3章 術(shù)語和定義參考國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 22458《儀器化納米壓入試驗(yàn)方法通則》。
 

　　第4章 測(cè)試條件，根據(jù)納米薄膜材料壓痕彈性模量測(cè)試的實(shí)際情況，規(guī)定了“4.1環(huán)境要求”、“4.2儀器要求”、“4.3試樣要求”、“4.4壓頭要求”幾個(gè)方面的要求，關(guān)鍵指標(biāo)納米薄膜的表面粗糙度應(yīng)符合GB/T 21838.4—2020第5章中5.2的規(guī)定。
 

　　第5章 測(cè)試方法參考納米薄膜材料壓痕彈性模量測(cè)試的實(shí)際試驗(yàn)流程，規(guī)定了“5.1安裝要求”、“5.2測(cè)試點(diǎn)選擇”、“5.3接觸零點(diǎn)選擇”、“5.4設(shè)定試驗(yàn)循環(huán)” 的要求。測(cè)試數(shù)據(jù)根據(jù)實(shí)際使用需要，規(guī)定了“5.5數(shù)據(jù)采集與處理”、“5.6壓痕彈性模量的計(jì)算方法”等方法。
 

　　第6章 測(cè)試結(jié)果評(píng)定，在壓痕測(cè)試中，納米薄膜在相同測(cè)試狀態(tài)下重復(fù)進(jìn)行3次測(cè)試，壓痕彈性模量以平均值計(jì)。