【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授吳文彬和王凌飛團(tuán)隊(duì)聯(lián)合西北大學(xué)教授司良團(tuán)隊(duì)，制備了廣譜高效的新型超四方相水溶性犧牲層材料Sr4Al2O7，可用于制備多種高質(zhì)量自支撐氧化物薄膜。1月26日，相關(guān)研究成果以研究長文形式，以Super-tetragonal Sr4Al2O7 as a sacrificial layer for high-integrity freestanding oxide membranes為題，發(fā)表在《科學(xué)》(Science)上。
 

　　自支撐氧化物薄膜是指一種去除襯底后依舊保持單晶特性的低維量子材料，兼具關(guān)聯(lián)電子體系的多自由度耦合特性和二維材料的結(jié)構(gòu)柔性。這類材料具有超彈性、撓曲電性和顯著的磁彈效應(yīng)等，有望誘導(dǎo)出傳統(tǒng)外延氧化物薄膜不具備的新奇量子衍生現(xiàn)象和功能特性。同時(shí)，由于擺脫了單晶襯底的剛性束縛，自支撐氧化物薄膜易于實(shí)現(xiàn)與硅基半導(dǎo)體、二維范德瓦爾斯材料以及柔性高分子材料的集成，在超薄柔性電子器件開發(fā)方面頗具應(yīng)用潛力。
 

　　多年來，自支撐氧化物薄膜的主流制備方法是基于水溶性犧牲層的外延生長、剝離和轉(zhuǎn)移技術(shù)。然而，目前國際上普遍使用的Sr-Al-O基水溶性犧牲層與目標(biāo)氧化物薄膜之間不可避免的晶格失配和應(yīng)力弛豫會(huì)導(dǎo)致高密度界面缺陷的形成，進(jìn)而在水輔助剝離和轉(zhuǎn)移過程中誘發(fā)高密度裂紋的產(chǎn)生，顯著影響自支撐氧化物薄膜的結(jié)晶性和完整性，并導(dǎo)致相應(yīng)功能特性的退化。因此，如何抑制微裂紋的形成，獲得大面積、高結(jié)晶性的自支撐氧化物薄膜，是推動(dòng)這一領(lǐng)域發(fā)展的關(guān)鍵科學(xué)問題。
 

　　該研究探索了Sr-Al-O基水溶性犧牲層薄膜的激光分子束外延生長窗口，通過精細(xì)的薄膜生長控制發(fā)現(xiàn)了新型水溶性犧牲層材料Sr4Al2O7。系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)表征和第一性原理計(jì)算展現(xiàn)了該材料的優(yōu)異性質(zhì)：雙軸應(yīng)變下的Sr4Al2O7薄膜具有四方結(jié)構(gòu)對稱性，與多數(shù)ABO3鈣鈦礦材料可以形成高質(zhì)量共格外延生長，抑制了界面處缺陷的形成和水輔助剝離過程中的裂紋產(chǎn)生，顯著提升了自支撐氧化物薄膜的結(jié)晶性和完整性。研究驗(yàn)證了晶格常數(shù)在3.85~4.04 Å區(qū)間的一系列鈣鈦礦氧化物薄膜的剝離效果，發(fā)現(xiàn)了從Sr4Al2O7犧牲層上剝離的自支撐薄膜中無裂紋區(qū)域可以擴(kuò)展到毫米級(jí)，比目前已報(bào)道的同類自支撐薄膜樣品大1~3個(gè)數(shù)量級(jí)，且其結(jié)晶性和功能性可以與單晶襯底上生長的高質(zhì)量外延薄膜相當(dāng)。Sr4Al2O7薄膜的激光分子束外延生長窗口與多數(shù)鈣鈦礦氧化物薄膜兼容，制備工藝具有普適性。研究進(jìn)一步發(fā)現(xiàn)，Sr4Al2O7獨(dú)特的原子結(jié)構(gòu)導(dǎo)致其具有很高的水溶性，顯著縮短了水輔助剝離過程的時(shí)間，提升了自支撐氧化物薄膜的制備效率。
 

　　新型水溶性犧牲層Sr4Al2O7的發(fā)現(xiàn)，為制備高結(jié)晶性、大面積自支撐氧化物薄膜提供了高效且普適的實(shí)驗(yàn)手段。這有望推動(dòng)自支撐氧化物薄膜新奇量子物態(tài)的進(jìn)一步發(fā)掘，并可以提升這一體系在低維柔性電子學(xué)器件方面的應(yīng)用潛力。審稿人對這一成果給予高度評價(jià)，認(rèn)為“對于(自支撐氧化物薄膜)這一正迅速發(fā)展的研究領(lǐng)域內(nèi)的科學(xué)家而言，這無疑是一個(gè)有趣的工作”“章等人的工作具有從多個(gè)方面對氧化物電子學(xué)領(lǐng)域形成廣泛影響的潛力”。
 

　　研究工作得到國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金、中國科學(xué)院穩(wěn)定支持基礎(chǔ)研究領(lǐng)域青年團(tuán)隊(duì)計(jì)劃、中國科大“雙一流”專項(xiàng)基金等的支持。
 

基于水溶性犧牲層的自支撐氧化物薄膜的剝離和轉(zhuǎn)移過程示意圖
 

　　超四方相水溶性犧牲層Sr4Al2O7的原子結(jié)構(gòu)。A-C為Sr4Al2O7薄膜的高分辨透射電子顯微圖像和對應(yīng)的晶體結(jié)構(gòu)示意圖，D為Sr4Al2O7單胞與鈣鈦礦氧化物單胞的相對大小和外延生長關(guān)系示意圖。
 

　　使用不同種水溶性犧牲層剝離自支撐氧化物薄膜的完整性比較。A為基于國際上廣泛使用的Sr3Al2O6犧牲層剝離的多種鈣鈦礦氧化物自支撐薄膜的光學(xué)顯微圖像。所有薄膜上均存在高密度裂紋。B為利用新型Sr4Al2O7犧牲層剝離的多種鈣鈦礦氧化物自支撐薄膜的光學(xué)顯微圖像。所有自支撐薄膜均表現(xiàn)出“皺而不裂”的表面形貌，預(yù)示著結(jié)晶性和完整性的顯著提升。