應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類(lèi)問(wèn)題的上佳選擇。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵 又稱：POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類(lèi)問(wèn)題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤(pán)管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa）。
在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類(lèi)（見(jiàn)圖）：
1、水汽捕集器
它的制冷盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤(pán)管需要有加熱除霜裝置，使盤(pán)管每次開(kāi)門(mén)之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無(wú)需除霜裝置。
根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.
北京天地精儀公司研發(fā)生產(chǎn)的-145℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國(guó)內(nèi)處于地位，達(dá)到甚至超過(guò)*水平。
主要的性能特點(diǎn)
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出；
5、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭?
6、完善的自動(dòng)化控制；
7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫 度顯示；
8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開(kāi)始制冷；
9、除霜溫度自由設(shè)定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過(guò)高報(bào)警；
12、壓縮機(jī)排氣過(guò)高、壓力過(guò)高保護(hù)；
13、電源斷電、缺相報(bào)警；
14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；
15、R232計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)：TH-145-5P，壓縮機(jī)功率：4.6KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：51000L/s，制冷量：500，冷凝管面積：0.2m2,冷凝管長(zhǎng)度：6m直徑12mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于30min，降溫時(shí)間：小于等于3min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于3min，適用油擴(kuò)散泵徑：小于等于500mm，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-7P，壓縮機(jī)功率：6.3KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：73000L/s，制冷量1200，冷凝管面積：0.5m2,冷凝管長(zhǎng)度：12m直徑12mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于30min，降溫時(shí)間：小于等于3min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于3min，適用油擴(kuò)散泵徑：小于等于800mm，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-10P，壓縮機(jī)功率：8.5KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：101000L/s，制冷量：1800，冷凝管面積：0.7m2,冷凝管長(zhǎng)度：14m直徑16mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于30min，降溫時(shí)間：小于等于3min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于3min，適用油擴(kuò)散泵徑：小于等于1000mm，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-12P，壓縮機(jī)功率：10.1KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：153000L/s，制冷量：：2500，冷凝管面積：0.9m2,冷凝管長(zhǎng)度：18m直徑16mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于40min，降溫時(shí)間：小于等于4min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于6min，適用油擴(kuò)散泵徑：雙路輸出，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-12P，壓縮機(jī)功率：12.3W，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：250000L/s，制冷量：：3500，冷凝管面積：1.5m2,冷凝管長(zhǎng)度：30m直徑16mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于40min，降溫時(shí)間：小于等于5min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于6min，適用油擴(kuò)散泵徑：雙路輸出，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
