產(chǎn)品介紹
HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)
INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、
輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴（1.5×10-6至750乇）。HPG400提供高度的重復(fù)性
和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量，用于精確的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。
用 戶 優(yōu) 越 性
◆ HPG400節(jié)省
產(chǎn)品介紹
HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)
INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、
輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性
和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量，用于精確的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。
用 戶 優(yōu) 越 性
◆ HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測(cè)量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
◆ 高壓強(qiáng)熱電離真空計(jì)1×10-5毫巴為要求高的過(guò)車(chē)工控制提供精確、可靠的壓強(qiáng)測(cè)量
◆ 用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作
◆ 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過(guò)早燒毀
◆ 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
◆ 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
典 型 應(yīng) 用
◆ 半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)
◆ 工業(yè)鍍膜
◆ 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制
訂 購(gòu) 資 料
型號(hào)
HPG400
Without LCD display
HPG400
With LCD display
HPG400-SP
With Profibus DP1）
HPG400-SD
With DeviceNet1）
DN 25ISO-KF
353-520
353-521
353-525
353-527
DN 40CF-R
353-522
353-523
353-526
353-528
更換傳感器25ISO-KF
354-487
354-487
354-487
354-487
更換傳感器40CF-R
354-488
354-488
354-488
354-488
1）不帶液晶顯示器
附 件
