熱式氣體質(zhì)量流量計
一、 工作原理：
μf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度*，解決了現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值得*性，導(dǎo)致傳感器在各個發(fā)現(xiàn)方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題，實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難的問題。而μf干熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同事可靠、穩(wěn)定、安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這樣的橋式方式制作有利于熱傳感器，使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。蕩傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定得溫差，在芯片周圍形成固定的溫度場分布。

熱式氣體質(zhì)量流量計
二、 產(chǎn)品特點：
1、 產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門、無需通過二次儀表顯示。
2、 μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和新材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、 微小流量氣體測量，sccm（ml/min）級的維流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
4、 機電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。

5、 結(jié)構(gòu)的優(yōu)化、 MFM流量計的壓力損失達到zui小化。
6、 采用的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
7、 *零點自校功能，測量更準確。
8、 多種氣體實際標定，全量程補償。
9、 快速響應(yīng)，數(shù)字自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
10、 規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。
11、 精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
12、 *的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
13、 操作、設(shè)置界面友好，簡便、可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
14、 運用行業(yè)多，使科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、室友化工業(yè)行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的*。