多功能數(shù)字式四探針測試儀/數(shù)字式四探針測試儀/四探針電阻率測試儀
型號:MHY-20147
概述
MHY-20147型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率,擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。
本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果分類功能,大分類10類
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉(zhuǎn)換量程;測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω
電 阻 率: 10.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻: 10.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ~ 0.1×103 Ω/□
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑: 測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級
量程 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
誤差 ±0.5%FSB±1LSB(在各量程范圍內(nèi)),超量程或欠量程可測量,但誤差將隨超欠程度而變大
4) 工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5) 外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重:≤1kg