■ 產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
??3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu);
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
■ 產(chǎn)品描述
Z向 PFC**-080U(直驅(qū)型)是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺,掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構(gòu),確保了掃描臺的運動精度。掃描臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。分立的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。壓電物鏡定位器是為了滿足快速響應(yīng)、大負載、大孔徑物鏡應(yīng)用需求而設(shè)計的,可以與目前市面上多種高分辨率顯微鏡配合,大剛度設(shè)計確保負載力達500g,快速穩(wěn)定,掃描頻率高。
■ 產(chǎn)品選型
①物鏡側(cè)螺紋直徑(目標適配器【選配】)
標識Identification | 型號Model | 描述Note |
5 | M25 X 0.75 | 目標適配器 |
X | M26 X 1/36" | 目標適配器 |
6 | M26 X 0.75 | 目標適配器 |
7 | M27 X 0.75 | 目標適配器 |
8 | W0.8X1/36" | 目標適配器 |
②裝配環(huán)(顯微鏡適配器【選配】)
標識Identification | 型號Model | 描述Note |
5 | M25 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
X | M26 X 1/36" | 顯微鏡適配器 |
6 | M26 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
7 | M27 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
8 | W0.8X1/36" | 顯微鏡適配器 |
※除上述型號外的螺紋尺寸,請!
③內(nèi)置位移傳感器
* | 空白blank | 無位移傳感器(開環(huán)Open loop) |
S | 應(yīng)變計傳感器SG Sensor (閉環(huán)Closed loop) |