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  • KAMAN埃米級(jí)電渦流傳感器-位移傳感器

SMT9700 KAMAN埃米級(jí)電渦流傳感器-位移傳感器

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)SMT9700
  • 品牌
  • 所在地成都市
  • 更新時(shí)間2018-05-16
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限11
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量7
  • 人氣值900
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成都洪勝科技有限責(zé)任公司致力于引進(jìn)國(guó)外傳感測(cè)量技術(shù)及產(chǎn)品;基于多種進(jìn)口 傳感器,以及軟件測(cè)量技術(shù)、無(wú)線傳感器技術(shù)及相關(guān)制造業(yè)的發(fā)展方向,集研究、 開發(fā)、銷售、技術(shù)支持、售后服務(wù)為一體的高科技產(chǎn)業(yè)公司。洪勝科技所處的自動(dòng) 化傳感器領(lǐng)域前景十分廣闊,并服務(wù)于國(guó)內(nèi)很多制造業(yè)。
洪勝科技*追求穩(wěn)步成長(zhǎng),現(xiàn)已成 為開發(fā)與銷售傳感設(shè)備的,產(chǎn)品范圍包括傳感器、測(cè)試測(cè)量?jī)x器、渦流、項(xiàng)目系統(tǒng)等發(fā)展;我們的產(chǎn)品不僅能夠滿足許 多制造業(yè)與高校學(xué)習(xí)行業(yè)客戶的需求,而且還能夠滿足它們將來(lái)的需求;我們致力于 預(yù)見(jiàn)市場(chǎng)的未來(lái)發(fā)展,在現(xiàn)階段提供對(duì)應(yīng)未來(lái)需求的方案;我們并不滿足于僅僅擁有 市場(chǎng)上的*秀產(chǎn)品,我們還為客戶提供更豐富的業(yè)界知識(shí)及更專業(yè)的技術(shù)方案。 

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KAMAN埃米級(jí)電渦流傳感器SMT9700在半導(dǎo)體晶片膜厚度控制中的應(yīng)用
KAMAN電渦流傳感器SMT9700硅晶片上的膜是通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)生成的。
KAMAN埃米級(jí)電渦流傳感器-位移傳感器 產(chǎn)品詳情

KAMAN埃米級(jí)電渦流傳感器SMT9700在半導(dǎo)體晶片膜厚度控制中的應(yīng)用

KAMAN電渦流傳感器SMT9700硅晶片上的膜是通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)生成的。怎樣確保在晶片上形成均勻的化學(xué)層沉積呢?

KAMAN電渦流傳感器能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計(jì)量工具。電渦流傳感器能準(zhǔn)確測(cè)量被測(cè)體(必須是金屬導(dǎo)體)與探頭端面之間靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的相對(duì)位移變化。

1 在渦流技術(shù)領(lǐng)域處于*的地位
2 在精確位置測(cè)量方面擁有超過(guò)40年的豐富經(jīng)驗(yàn)
3 產(chǎn)品眾多,可以根據(jù)用戶需要提供各種解決方案

解決方案

SMT-9700化學(xué)沉淀反應(yīng)開始之前,用KAMAN電渦流傳感器確保半導(dǎo)體晶片圓盤是平行于氣體分散噴頭(參見(jiàn)圖1)。當(dāng)然該傳感器是用于校驗(yàn)過(guò)的,量程在半導(dǎo)體晶片圓盤位置限定之內(nèi)。

KAMAN產(chǎn)品的特點(diǎn):

·渦電流技術(shù)的*

·在位置測(cè)量領(lǐng)域有超過(guò)三十年的經(jīng)驗(yàn)

·標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的規(guī)格非常齊全

·特制產(chǎn)品可滿足客戶個(gè)性化需求

·性能穩(wěn)定,可重復(fù)精度高

·可達(dá)到次納米的精度

·堅(jiān)固,可靠

KAMAN系統(tǒng)提供模擬輸出或可選的數(shù)字信號(hào)接口。如果半導(dǎo)體晶片圓盤是傾斜的,致動(dòng)器會(huì)根據(jù)KAMAN系統(tǒng)輸出的信號(hào)自動(dòng)調(diào)整到水平。

結(jié)果:能得到*并且均勻的沉積薄膜。

KAMAN電渦流傳感器SMT9700系統(tǒng)提供種類齊全的探頭以供選擇。

SMT9700電渦流傳感器尺寸小巧

埃米級(jí)分辨率

有1、2或3通道可配電渦流探頭

可配13種電渦流探頭

工作溫度:0~70oC(補(bǔ)償范圍15~55oC)

符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

輸出負(fù)載電流<20mA(有短路和過(guò)載保護(hù))

供電電壓:15~30V,<50mA(有容錯(cuò)保護(hù)、短路保護(hù))

成都洪勝科技有限公司

Juliy@honsens.com

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公司:www.honsens。。com

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