9J光切法顯微鏡以光切法測(cè)量和觀(guān)察機(jī)械制造中零件加工表面的微觀(guān)幾何形狀；在不破壞表面的條件下，測(cè)出截面輪廓的微觀(guān)平面度和溝槽寬度的實(shí)際尺寸；此外，還可測(cè)量表面上個(gè)別位置的加工痕跡和破損。本儀器適用于測(cè)量1.0-80um表面粗糙度，但只能對(duì)外表面進(jìn)行測(cè)定；如需對(duì)內(nèi)表面進(jìn)行測(cè)定，，而又不破壞被測(cè)零件時(shí)，則可用一塊膠體把被測(cè)面模印下來(lái)，然后測(cè)量模印下來(lái)的膠體的表面。
主要技術(shù)參數(shù)
儀器的示值相對(duì)誤差（分段計(jì)） 5%-24%
攝像裝置放大倍數(shù) ≈6×
測(cè)量平面度范圍 ≈（0.2-25）um
平面寬度
用測(cè)微目鏡 ≈（0.0007-2.5）mm
用坐標(biāo)工作臺(tái) ≈（0.01-13）mm
儀器質(zhì)量 ≈23kg
儀器外形尺寸（l×b×h）mm 180×290×470
儀器的成套性：
| 序號(hào) | 名 稱(chēng) | 單位 | 數(shù)量 | 備 注 |
| 1 | 主機(jī) | 臺(tái) | 1 | |
| 2 | 測(cè)微目鏡 | 只 | 1 | |
| 3 | 坐標(biāo)工作臺(tái) | 件 | 1 | |
| 4 | V型塊 | 件 | 1 | |
| 5 | | 件 | 1 | |
| 6 | 7X物鏡 | 只 | 1 | |
| 7 | 14X物鏡 | 只 | 1 | |
| 8 | 30X物鏡 | 只 | 1 | |
| 9 | 60X物鏡 | 只 | 1 | |
| 10 | 可調(diào)變壓器 （220V/6-4V、5W） | 件 | 1 | |
| 11 | 適配鏡 | 件 | 1 | 選購(gòu) |
| 12 | 數(shù)碼相機(jī) | 只 | 1 | 選購(gòu)（鏡頭接口與適配鏡相配） |
| 13 | 燈泡（6V、2.1W） | 只 | 3 | 備用 |
