自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀
型號:LDX-TP-TPY-2
產(chǎn)品特點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo):
測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍:1-10
測量Z小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度:每格1度 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步進(jìn)角:0.014°/步 偏振器方位角范圍:0°- 180°
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:0.5nm和0.005
儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
光學(xué)中心高度:80mm
成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機(jī))
主機(jī)重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm
裝箱單
序號 | 名 稱 | 規(guī)格或型號 | 數(shù)量 | 備 注 |
1 | 自動橢圓偏振測厚儀主機(jī) | LDX-TP-TPY-2 | 1臺 |
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2 | 主機(jī)電控箱 | TP-TPY-2 | 1臺 |
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3 | Q9連接線 |
| 1根 |
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4 | 數(shù)據(jù)連接線 |
| 1根 |
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5 | 電源線 |
| 2根 |
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6 | 15線連接電纜 |
| 1根 |
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7 | USB連接電纜 |
| 1根 |
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8 | 二氧化硅膜樣片 |
| 1張 |
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9 | 軟件安裝盤 | LDX-TP-TPY-2 | 1張 |
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10 | 使用說明書 | LDX-TP-TPY-2 | 1份 |
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11 | 裝箱單 | LDX-TP-TPY-2 | 1份 |
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12 | 產(chǎn)品合格證 | LDX-TP-TPY-2 | 1份 | 山東利達(dá)信儀器儀表設(shè)備有限公司 |