真空度測(cè)試儀主要特點(diǎn):
1、基于電離電荷的采樣技術(shù)
BS系列真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此,我公司*了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
2、高低壓管型測(cè)試
本機(jī)另外對(duì)測(cè)試電壓輸出應(yīng)用了兩個(gè)檔位(高壓3萬(wàn)低壓2.5),因此可對(duì)高低壓不同的各類(lèi)管型時(shí)行有效測(cè)試。
3、內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專(zhuān)家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入BS系列產(chǎn)品。因此,BS系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。這是國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中*的。
4、漏電電流的處理
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室動(dòng)觸頭加高壓靜觸頭端加負(fù)離子電流時(shí),靜觸頭端會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性。并且在數(shù)值上與10E—4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用二次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
5、判別*漏氣的真空滅弧室
在BS-II型機(jī)中,通過(guò)高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。
6、完善的輸入保護(hù)電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至負(fù)離子電流采樣電路上,使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。BS-II的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負(fù)離子電流采樣端居*時(shí)間,微電腦保護(hù)裝置會(huì)立即起控,使其進(jìn)入保護(hù)狀態(tài),就不會(huì)造成電路嚴(yán)重的損壞。
7、數(shù)據(jù)記錄
內(nèi)設(shè)微型打印機(jī),可隨時(shí)打印出被測(cè)數(shù)據(jù)。
真空度測(cè)試儀工作原理:
BS系列真空度測(cè)試儀將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距,施加脈沖高壓,與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)測(cè)知離子電流后,通過(guò)離子電流一真空度曲線,由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的計(jì)算,并顯示真空度值。
真空度測(cè)試儀測(cè)試方法:
真空度測(cè)試常見(jiàn)的有破壞性測(cè)試方法和無(wú)損檢測(cè)方法。破壞性測(cè)試方法常見(jiàn)的是采用針頭刺入容器頂空,通過(guò)壓力(真空度)傳感器探測(cè)獲取真空度,該測(cè)試方法在一定程度上會(huì)受到管路中空氣的影響,可以用于真空度的粗略抽查,在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。典型的應(yīng)用是用于粗略的進(jìn)行密閉容器完整性測(cè)試(CCIT)評(píng)估,方法是將高真空的西林瓶(抽真空到接近0.1mbar)留樣半年到1年,然后觀察瓶?jī)?nèi)真空度。如果里面還有一定真空度,即里面的壓力是微負(fù)壓,說(shuō)明瓶子是不漏的;相反,如果里面的壓力是常壓,說(shuō)明瓶子是漏的。
如果是用于工藝的優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)的制定,通常會(huì)采用無(wú)損的真空度測(cè)試方法。無(wú)損的真空度測(cè)試方法常見(jiàn)的是激光法(即調(diào)頻光譜法(FMS)),它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì)在一定波段下有激光吸收,并且會(huì)得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比,其中水汽的激光吸收?qǐng)D譜中的峰寬(波峰和波谷之間的橫向距離)和頂空總壓力成正比。因此,采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M(jìn)行無(wú)損真空度測(cè)試。激光法對(duì)真空度的小檢出限大約為7mbar,因此能測(cè)試出接近真實(shí)的真空度。
真空度測(cè)試儀技術(shù)參數(shù):
1. 真空度測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-5
2. 離子電流測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-7
3. 測(cè)量誤差: <10%
4. 測(cè)量分辨率: 10-5pa
5. 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃
6. 空氣濕度: ≤80%RH
7. 電源: AC/220V/50Hz±10%
8. 外型尺寸: 420×290×210(mm)
9. 高壓輸出: 脈沖30kV15kHz