4”晶圓退火烤箱

4”晶圓退火烤箱

潔凈烤箱：

潔凈烤箱概述：

    潔凈烤箱。是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。箱內材料采用無塵材料，通過外置過濾器持續(xù)補充潔凈氣體，從而使烘箱工作室內達到無塵狀態(tài)。

    工作室內溫度由溫控儀智能控制，具備自動恒溫及時間控制功能，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。

潔凈工業(yè)烤箱詳細資料：

一．特點：

1.在無塵潔凈環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部同樣潔凈；

2.全周氬焊，無塵電熱器，機臺不產微塵；

3.特殊風路設計,腔體內潔凈度、溫度均勻度十分優(yōu)秀。

二．執(zhí)行與滿足標準

1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件

2.GB2423.2-1989試驗B

3用途

潔凈工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

三．產品技術參數(shù)

1.產品名稱及型號：潔凈烘箱

2.主要技術指標：

   2.1溫度范圍： 60～ +300℃；

   2.2溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;

   2.3溫度波動度：±0.5℃（空載）

   2.4溫控精度：±0.1℃;

   2.5烘箱擱板為活動形式。

   2.6電源：380v , 50Hz

四、完善的安全保護措施：

    漏電斷路器、

    控制線路保險絲裝置、

    超溫防止保護裝置、

    電熱過電流保護裝置、

    馬達過電流保護、

    機臺異常蜂鳴器警示

    逆向防止器、

    門安全開關

五、選購設備：

    6.1 可程式溫控器

    6.2六點溫度記錄儀

    6.3三色指示燈

    6.4烘烤架