反應(yīng)艙 | 材料:鋁 有效尺寸:400 x 400 x 400mm 容積:64升 艙門:裝有可視窗口 托盤:4個 尺寸:305 x 360 x 40mm |
真空度測量 | 皮拉尼真空計 |
真空泵 | 旋片式真空泵;30m3 /h;含真空泵油 |
頻射發(fā)生器 | 0~600W可調(diào),100KHz發(fā)生器 |
控制系統(tǒng) | PLC可實現(xiàn)下列功能: l 自動控制反應(yīng)過程; l 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù); l 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標; l 監(jiān)測所有的運行指標,保證各項參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi); l 設(shè)定操作進入密碼。 |
電源 | 380V AC, 三相,50Hz, 40A |
反應(yīng)氣體 | 一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.45mm) 管道;輸入壓力:1Bar |
尾氣排放 | 直徑28mm 輸出端口 |
安全性能 | 急停開關(guān);真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全認證。 |
可選件:
- 300 m3/小時 的機械增壓泵
- 頻射發(fā)生器:2.45GHZ, 13.56MHZ
- 多個氣體輸入管道。
- 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
- 輥輪式載料系統(tǒng)。
- N2 Purge.