VUVaS 2000 雙光束真空紫外光譜儀是McPherson 公司推出的世界的檢測不同種類的材料在真空紫外波段（115-380nm 波長范圍)的吸收譜、透射譜和反射譜的檢測儀器。可以根據(jù)用戶的要求定制不同規(guī)格的樣品室和樣品架，測量不同大小、不同厚度的樣品，并可進(jìn)一步選擇偏振和熒光發(fā)射測量，為不同材料在真空紫外波段的研究與應(yīng)用提供的測試手段。由于VUVaS 2000型真空紫外光譜儀采用的是真空斬波和鎖相放大技術(shù)從而*地提高了信號檢測的靈敏度和信躁比，是目前在這個波段開展上述弱信號測量zui的儀器產(chǎn)品。
【參數(shù)表】
1. 光學(xué)特征
光度精確度 | （157nm處）≤0.05%T(RSD) |
光度準(zhǔn)確度 | (115nm-380nm) ≤0.3%T(RSD) 標(biāo)準(zhǔn)0.2%T（RSD） |
光學(xué)穩(wěn)定性 | 0.5%T/小時 |
光學(xué)噪聲 | 優(yōu)于0.17%T |
2．光譜特征
波長范圍 | 氘燈連續(xù)光源提供波長115nm-380nm |
單色儀 | McPherson公司改進(jìn)的Seya-Namioka Model 234/302單色儀 |
光柵 | III型鍍MgF2 的凹面全息光柵，1200刻線/毫米 |
相對孔徑 | f/4.5 |
波長準(zhǔn)確度 | 0.1nm |
波長重復(fù)性 | ±0.03nm |
分辨率 | 0.01mm狹縫分辨率為0.1nm |
帶通 | 帶通寬度隨狹縫寬度改變從0.1nm-10nm可調(diào) |
3．樣品測量
光束 | 校準(zhǔn)/可變 |
斬波器 | 反射型斬波器（標(biāo)準(zhǔn)工作頻率為90Hz） |
探測器 | R268型光電倍增管 |
測量方式 | 透射譜（吸收譜）、反射譜、散射譜、激發(fā)譜 |
探測器位置 | 相對于發(fā)射光束成20°-180°角 |
樣品位置 | 相對于發(fā)射光束成0°-90°角 |
樣品架尺寸 | 可容納1英寸直徑或2x2英寸或2英寸直徑的樣品（根據(jù)要求訂制） |
濾光片 | 5個可放25mm直徑濾光片的位置 |
配件 | 225nm長通濾光片用于230nm-380nm的光譜范圍 |
4.真空系統(tǒng)
真空泵 | 兩個渦輪分子泵，閘式閥門控制凈化樣品區(qū)域 |
真空范圍 | 典型工作壓力為10-5torr,樣品區(qū)可被單獨(dú)凈化 |
5．控制系統(tǒng)
控制器 | LabView windows軟件用于波長控制和信號恢復(fù)，圖形式/數(shù)字式輸出反射譜及透射譜信號 |
輸入電壓 | 220 V / 15 安培 / 50 Hz |
工作環(huán)境 | 一般實驗室環(huán)境 |
