本儀器低電壓小電流工作,適用于低溫冷槽車(chē)和工業(yè)氣體設(shè)備、藥廠粉塵車(chē)間等易燃易爆環(huán)境真空測(cè)試。
本儀器應(yīng)用真空中熱傳導(dǎo)與真空度有關(guān)的原理測(cè)量真空。采用美國(guó)Posifa公司MEMS皮拉尼真空傳感器(鉑薄膜)封裝制造,該測(cè)量元件是由一個(gè)置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。隔熱膜懸覆在一個(gè)微加工的25微米深空腔上,空腔底部表面與隔熱膜平行,以確保精密測(cè)量傳熱率。由于被測(cè)氣體體積?。纯涨蝗莘e?。?,Posifa傳感器能夠提供超低的功耗和快速的響應(yīng)時(shí)間。Posifa傳感器還提供了一個(gè)與測(cè)量電阻具有相同電阻溫度系數(shù)(TCR)的基準(zhǔn)電阻,布置在傳感器芯片基板上。線路設(shè)計(jì)利用它來(lái)進(jìn)行環(huán)境溫度補(bǔ)償。儀表的數(shù)據(jù)采集選用16位高速電路及高穩(wěn)定微處理機(jī)監(jiān)控新型線路,在分析儀器、半導(dǎo)體設(shè)備、機(jī)械泵測(cè)試、真空冶煉、真空浸漬、空調(diào)冰箱生產(chǎn)線等工業(yè)和科研部門(mén)有廣泛應(yīng)用。