技術(shù)參數(shù)
原 理：電化學(xué)傳感器。
量 程：0~10/100/1000ppm, 1/25% O2 自動(dòng)或手動(dòng)切換。
分辨率：量程的0.1%。
準(zhǔn)確度：量程的1%（在常溫，常壓下）。
線性度：R平方值>0.995。
校準(zhǔn)氣：建議采用80%FS O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣。
響應(yīng)時(shí)間：20秒達(dá)到90%。
恢復(fù)時(shí)間：15分鐘從空氣（30秒）到10ppm。
10分鐘從9ppm（2分鐘）到10ppb。
傳感器
技術(shù)參數(shù)
原 理：電化學(xué)傳感器。
量 程：0~10/100/1000ppm, 1/25% O2 自動(dòng)或手動(dòng)切換。
分辨率：量程的0.1%。
準(zhǔn)確度：量程的1%（在常溫，常壓下）。
線性度：R平方值>0.995。
校準(zhǔn)氣：建議采用80%FS O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣。在線式微量氧分析儀
響應(yīng)時(shí)間：20秒達(dá)到90%。在線式微量氧分析儀
恢復(fù)時(shí)間：15分鐘從空氣（30秒）到10ppm。在線式微量氧分析儀
10分鐘從9ppm（2分鐘）到10ppb。在線式微量氧分析儀
傳感器預(yù)期壽命：24個(gè)月（在1000ppm下）。在線式微量氧分析儀
操作條件
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、空分、特氣行業(yè)。
測(cè)量介質(zhì)：H2、He、碳?xì)浠衔?、惰性氣體、混合氣體等。
接 口：進(jìn)出氣口采用1/4”或1/8”卡套接頭。
壓 力： 5~30psig（zui大100psig）。
溫 度： 5~ +45℃。
流 量：1~3 SCFH，*：2 SCFH(立方英尺/每小時(shí)) 。
